판매용 중고 AIXTRON / GENUS Lynx iXP #293619357

AIXTRON/GENEIN Lynx iXP는 최첨단 산업 등급 CVD 에피 택시 원자로로, HS (High Brightness Light Emitting Diode) 의 대규모 고수율 생산을 위해 특별히 개발되었습니다. 이 원자로는 최신 HBLED 생산 요구의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. GENUS Lynx iXP 원자로는 7 구역 Quartz Linear Hot-Wall (QLH) 설계로 성장 속도와 에피 택시 품질을 최적화하면서 뛰어난 표면 평면을 제공합니다. 이것은 선형 난방/냉각 표면을 통해 이루어지며, 이는 성장 사이클린더 전체에서 일관된 온도 구배를 제공합니다. 또한, QLH 디자인은 모든 공정 영역에서 균일 한 난방 온도가 ± 10 ° C 인 우수한 온도 안정성을 제공합니다. 원자로에는 고해상도 PID 컨트롤러와 6 개의 RTD 열전대 프로브를 포함한 고급 온도 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 이는 성장 과정이 매우 정밀하게 유지되도록 보장합니다. 원자로는 또한 광범위한 물질 증착 능력을 제공하기 위해 광범위한 공정 가스 (트리메틸 갈륨 및 트리메틸 인듐 포함) 를 제공한다. AIXTRON Lynx iXP는 최고의 안정성과 성능을 위해 설계되었습니다. 오류 복구 장비, 진공 맥동 보호 시스템, 동적 기울기 (dynamic tilt) 사전 정렬 장치를 갖춘 고급 마이크로 프로세서 제어가 있습니다. 원자로 또한 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 이 장착되어 있어 사용자가 발생할 수 있는 문제를 해결하고 진단할 수 있습니다. 또한, Lynx iXP 원자로에는 과열 및 과압 보호 (over-temper and over-pressure protection) 및 진공 잠금 장치 (vacuum lock machine) 를 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 인력 안전이 손상되지 않습니다. 또한, 원자로는 공정 공간이 깨끗하고 먼지가 없도록 고감도 공기 여과 도구 (high-sensitivity air filtration tool) 로 설계되었습니다. AIXTRON/GENEAS Lynx iXP 에피 택시 원자로의 고성능 및 고급 디자인은 차세대 HMI 생산에 이상적인 선택입니다. 이 원자로는 강력하고 신뢰할 수 있는 도구로서, 대용량 (High-yield), 대규모 생산 실행에서 고품질 및 신뢰성이 높은 HMI를 생산하는 데 적합합니다.