판매용 중고 AIXTRON G5 #9238984

AIXTRON G5는 대량 생산 및 연구를 위해 설계된 최첨단 증착 장비입니다. 이 시스템에는 내화성 금속 규소, 반도체와 같은 박막 재료 생산을위한 원격의 플라즈마 강화 화학 증기 증착 기술이 장착되어 있습니다. AIXTRON G 5는 동시 공동 스퍼터링 및 ALE 증착 프로세스를 수행하도록 설계된 다중 레벨 클러스터 도구입니다. 이 장치에는 고정밀 웨이퍼 코딩 장치, 스퍼터 소스 4 개, 마그네트론 소스 2 개, 레이저 소스 1 개, 챔버 구성 및 도구 제어 소프트웨어의 유연성이 뛰어납니다. 또한, 이 기계에는 웨이퍼 이동 및 작동을위한 포지셔닝 모듈과 직접 프로세싱을위한 라이너 소스, 2 차 프로세싱을위한 DC/AC 소스가 포함되어 있습니다. G5 원자로 (Reactor) 는 최고 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 처리하면서 뛰어난 균일성과 필름 품질을 제공하도록 설계되었습니다. G 5 (G 5) 는 독특한 스퍼터 패널 설계로 정확한 에칭 제어 및 부드러운 웨이퍼 표면을 제공합니다. 고유한 디자인은 또한 높은 선 너비의 정확도와 등록을 위해 밀착 공차 코팅을 지원합니다. AIXTRON G5 (AIXTRON G5) 도구는 다양한 프로그래밍 솔루션을 통해 유연성을 제공하므로 별도의 컴퓨터 없이 자산을 프로그래밍할 수 있습니다. 이 모델은 또한 프로세스 온도 관리자 (process temperature manager) 를 특징으로하며, 전체 프로세스 전체에서 최적화된 에칭 및 증착에 대한 지속적인 온도 및 재료 증착률을 보장합니다. 또한, AIXTRON G 5는 처리량이 많은 생산을 위해 설계되었으며, 생산 프로세스 전반에 걸쳐 높은 안정성과 반복성을 제공합니다. G5 원자로는 모든 에칭 및 증착 프로세스에 대한 원스톱 (one-stop) 솔루션이며 뛰어난 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 높은 처리량과 고품질 박막 개발을 위해 설계된 G 5 는 첨단 연구/제작 요구 사항에 가장 적합한 제품입니다.