판매용 중고 AIXTRON G5 #9225886

AIXTRON G5는 실리콘 기반 재료의 증착 과정에 사용되는 고온 폴리 실리콘 원자로입니다. 반도체· 전자산업용 증착시스템의 선두 업체인 "AIXTRON '이 개발· 제조한다. AIXTRON G 5 원자로는 안정적이고 비용 효율적인 증착 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이산화규소, 질화 실리콘, 실리콘-게르마늄, 산화 알루미늄, 산화 촉매 및 질화 알루미늄을 포함한 다양한 물질의 박막 증착에 적합합니다. G5 원자로는 기질이 배치 된 원통형 흑연 서셉터를 사용합니다. 그런 다음 원자로 내에 2 개의 적외선 램프로 서셉터를 가열하여 공정 온도 (최대 1250ß C) 를 생성합니다. 공정 온도는 PID 온도 제어를 사용하여 제어하는 반면, 정확한 강착률은 온보드 제어 헤드 (on-board control head) 를 사용하여 조절됩니다. 또한, 폐쇄 루프 프로세스 제어 시스템은 다중 점 온도 감시를 사용하여 정확하고 균일 한 온도 분배를 제공합니다. 이것은 각 및 모든 공정 주기에서 반복 가능한 기판 온도를 보장합니다. G 5는 또한 다양한 분석 도구와 완전히 자동화 된 프로세스 시퀀스를 갖추고 있습니다. 프로세스의 모든 단계에서 온도, 압력, 공정 시간 (process time) 과 같은 수많은 매개변수를 모니터링, 제어하여 일관성 있고 반복 가능한 결과를 달성할 수 있습니다. 인시 투 전구체 투여 시스템 (in-situ precursor dosing system) 은 정확한 용량을 반응로에 정확하게 측정하여 균일하고 정확한 침착을 보장합니다. AIXTRON G5 원자로는 원형, 직사각형, 타원형 또는 불규칙한 다각형 모양을 포함한 다양한 기판 크기와 형태를 수용 할 수 있습니다. 또한, 최대 7nm/min의 증착율을 달성 할 수 있으며, 전구체 물질을 활용하는 데 매우 효율적이며, 폐기물 배출량을 최소한으로 줄입니다. 일관성 있는 결과를 얻기 위해 센서 통합 프로브 (sensor-integrated probe) 를 포함한 다양한 안전 장치 (Safeguard) 가 공정을 모니터링하고 원자로를 잠재적 피해로부터 보호합니다. AIXTRON G 5 원자로는 박막 실리콘 증착을 위해 안정적이고 고효율 플랫폼을 제공합니다. 반도체· 전자제품부문 등 다양한 분야에 적합하고 일관된 결과를 제공할 수 있다. & # 160; & # 160;