판매용 중고 AIXTRON G5 #293601017

AIXTRON G5는 화합물 반도체 재료 생산을 위해 특별히 설계된 고급 Horizontal Reflow (HOR) 원자로입니다. 이 원자로는 분자 빔 에피 택시 (MBE) 에서 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 에 이르기까지 다양한 증착 과정을 처리 할 수 있습니다. AIXTRON G 5의 중심에는 특허 절연, 컨베이어 장비 및 수직 냉벽의 독특한 조합이 있습니다. 이러 한 구성 요소 들 에 의해 "핫 존 '과" 프로세스 챔버' 를 분리 시킴 으로써, 화합물 반도체 재료 의 증착 을 위한 안정 환경 이 조성 된다. G5의 주요 특징은 직경이 2.4m 이상인 대형 챔버 디자인입니다. 이로써, 사용자는 수많은 기판과 재료 소스를 동시에 수용할 수 있어 프로세스 효율성을 극대화할 수 있습니다 (영문). 이 대형 챔버 (large chamber) 를 관리하기 위해 두 가지 기능 수준으로 나뉘며, 특정 증착 프로세스에 맞게 다른 구성으로 배열 할 수 있습니다. 상위 레벨 (upper level) 은 소스 재료 도입에 사용되고 하위 레벨 (lower level) 은 결과 제품의 복구에 사용됩니다. G 5의 또 다른 주요 특징은 특허 절연 시스템입니다. 이 단위는 모든 내부 챔버 벽에 적용된 비금속 재료 (non-metallic material) 로 구성되어 기판 지원 시스템의 열 손실을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 절연기의 결과, AIXTRON G5는 기존의 수평 원자로보다 작동 온도를 최대 10 배 높게 유지할 수 있습니다. AIXTRON G 5의 고급 수직 냉벽 도구는 공정 챔버 환경을 더욱 최적화합니다. 이 독창적인 특징은 웨이퍼 카세트 처리 (wafer cassette processing) 와 기타 기판 사이의 온도 변화를 줄이는 데 도움이되며, 전반적인 성장 과정을 더 잘 제어할 수 있습니다. 냉벽 각도, 온도, 유량 (flow rate) 에 대한 조정은 프로세스 요구 사항에 따라 수동으로 변경할 수 있습니다. 마지막으로, G5는 또한 재료 처리 및 로딩을 단순하고 효율적으로 만드는 맞춤형 컨베이어 에셋 (conveyor asset) 을 갖추고 있습니다. 이 컨베이어 (Conveyor) 모델은 완전히 자동화되어 원자로 온도 프로파일, 가스 제어 (Gas Control) 및 기타 설정을 원격으로 제어 할 수 있습니다. 따라서 G 5는 인상적인 기능과 기능을 갖춘 안정적이고 강력한 HOR 원자로 장비입니다.