판매용 중고 AIXTRON G5 HT #9256337
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ID: 9256337
빈티지: 2012
MOCVD System
Capacity: 56x2", 14x4", 8x6"
Wiring: 4-Wire with ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2012 vintage.
AIXTRON G5 HT는 고급 기술 증착 시스템 제조업체 인 AIXTRON이 만든 고온 원자로입니다. AIXTRON G5HT는 Power MOSFET, 고성능 전력 전자 장치 및 HEMT (High Electron Mobility Transistors) 와 같은 대용량 반도체 장치 어플리케이션을 위해 설계된 고급 에피 택시 도구입니다. G5 HT는 최대 1045 ° C의 공정 온도를 유지할 수 있으며 정확한 온도 조절을 제공합니다. 이 제품은 자동 압력 제어 (Automatic Pressure Control) 및 고압 플러싱 (High Pressure Flushing) 과 같은 다양한 장비 기능을 갖추고 있어 고품질의 박막 증착 프로세스를 보장합니다. 시스템의 중심에는 서셉터, 쿼츠 할로겐 램프 및 RF 발전기가 있습니다. Susceptor는 작업 중에 쉽게 로드하고 언로드할 수 있도록 설계되었습니다. 온도 범위는 300-1300 ° C이며 가열에 적외선 램프와 할로겐 램프의 조합을 사용합니다. 석영 할로겐 램프는 집중되고 집중된 가열을 제공하며, 부드럽게 가열 패턴을 제공하기 쉽게 조정할 수 있습니다. RF 생성기는 추가 가열 전원을 제공하며, 증착률 증가 및 프로세스 성능 향상을 위해 플라즈마 (plasma) 프로세스를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. G5HT는 AIXTRON 독점 가스 전달 장치 (AIXTRON Proprietary Gas Delivery Unit) 를 사용하여 보조 가스 라인 없이도 광범위한 전구체 재료를 제공 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 퇴적 될 수 있는 재료 유형 이 완전 히 융통성 을 갖게 된다. 또한 AIXTRON G5 HT는 두꺼운 필름 갈륨 질화물 도핑을 수행 할 수 있으며, 높은 전자 이동성 트랜지스터 (HEMT) 의 제작을 가능하게합니다. AIXTRON G5HT의 장점에는 고온 기능, 광범위한 재료, 효율적인 가스 전달 기계, 정확한 온도 제어 기능 등이 있습니다. G5 HT 는 안정적이고, 비용 효율적이며, 사용이 간편한 툴로서, 반도체 장치 제작을 위한 탁월한 선택입니다.
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