판매용 중고 AIXTRON G5 HT #9238747

AIXTRON G5 HT는 광범위한 산업 응용을 위해 설계된 최첨단 고온 CVD 원자로입니다. 6 인치 (6 인치) 의 자동화된 컴팩트한 플랫폼으로, 높은 온도와 진공압에서 다양한 재료를 합성하고 가공할 수 있는 안정적이고 저렴한 방법을 제공합니다. 고온 버너가 장착 된 AIXTRON G5HT 원자로는 정확한 온도 제어를 통해 최대 1,200 ° C에 도달 할 수있는 제어 환경을 제공합니다. 이 시스템은 매우 효율적이며 반도체, 금속, 세라믹, 다양한 폴리머 (polymer) 를 포함한 거의 모든 물질의 고밀도 필름을 생산하는 데 사용될 수 있습니다. G5 HT 원자로에는 조절 가능한 전구체 인젝터, 가변 자기장, 자동 로딩 시스템 등 다양한 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 연산자는 전구체의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있으며, 단일 웨이퍼 균일 성 (single wafer uniformity) 에서 최대 물질 증착을 허용합니다. 원자로의 온도 조절 기질 보유자는 균일 한 가열을 보장하고, 표본 전체에 열을 균등하게 분배합니다. 또한, 조절 가능한 자기장은 결정 성 (crystallinity) 과 같은 물질 특성을 개선 할 수있는 자기 도메인의 압축 및 확대를 허용한다. 원자로는 또한 SEM (Scanning Electron Microscope) 삽입물의 이점을 얻어 형성된 층을 실시간으로 검사 할 수 있습니다. SEM은 사이클 타임 최적화 (cycle-time optimization) 를 가능하게하며 박막 형성 및 표면 형태를 관찰 할 수 있습니다. G5HT는 제조 공정을 모니터링, 제어 및 분석하기 위해 강력한 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 사용자는 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 배치 매개변수를 빠르고, 쉽게 설정하고, 조작할 수 있습니다. AIXTRON G5 HT는 다양한 조정 가능한 매개변수와 고온 범위 덕분에 박막 증착 (Thin Film Deposition), 프로토타입 (Prototyping), 제품 도량형 (Product Metrology) 등 다양한 산업 응용 분야에 이상적인 시스템입니다.