판매용 중고 AIXTRON G5 HT #193899

AIXTRON G5 HT는 III-V, II-VI 및 화합물 반도체 재료의 성장에 사용되는 혁신적인 고성능 MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. AIXTRON에서 개발 및 제조 한 AIXTRON G5HT는 GaAs, InGaAs, InP, GaN, AlGaN 및 레이저, LED 및 레이저 다이오드와 같은 옵토 전자 장치에 사용되는 관련 물질을 성장시키는 데 이상적입니다. 화합물. G5 HT는 수평 원자로 설계로, 50mm 및 75mm 기판의 대형 챔버 볼륨을 제공합니다. 최대 기판 크기는 615mm 및 1000mm입니다. 더 높은 결정 품질을 위해, G5HT (G5HT) 는 개선 된 가스 흐름 설계를 통해 소스 재료의 고유한 특허를받은 균질하고 매우 낮은 고유 수송을 특징으로하며, 전체 기판에 걸쳐 물질 증착 균일성을 증가시킵니다. 원자로의 주택은 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며, 수정 품질을 향상시키기 위해 최적의 균일 한 가열을 제공합니다. AIXTRON G5 HT는 고급 반도체 재료의 신뢰할 수있는 공급원으로, 결정 성, 균일성, 표면 형태 및 장치 성능을 제공합니다. 여기에는 가열 된 클러스터 카트리지, 무제한 소스, 버블러, 액체 분사 소스, 무선 주파수 소스 등 여러 소스가 포함되어 있어 고온 및 저온 프로세스가 가능합니다. AIXTRON G5HT는 또한 고급 산화 과정 및 이중 입자 빔 충격을 수행 할 수 있습니다. 게다가, G5 HT에는 다양한 하드웨어/소프트웨어 툴이 장착되어 있어, 온도, 광학, 프로세스 제어를 완벽하게 수행할 수 있어 더욱 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 레이저 간섭계, 반사 고 에너지 전자 회절 패턴 모니터링, 질량 분석기, 압력 센서, 산소 센서 및 AIXTRON 독점 AIMS ™ 소프트웨어가 포함됩니다. 이 모든 기능은 다양한 옵토 전자 (opto) 및 복합 반도체 장치를위한 고성능, 고수율 재료를 생산할 수있는 강력하고 안정적인 MOCVD 원자로를 만들기 위해 결합됩니다.