판매용 중고 AIXTRON G4 #9382363

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제조사
AIXTRON
모델
G4
ID: 9382363
빈티지: 2011
MOCVD Systems Type: GaN 42 x 2", 11 x 4", 6 x 6" LUXTROM TR200 Measuring system included 2011 vintage.
AIXTRON G4는 마이크로파 플라즈마 강화 화학 증발 (MPCVD) 시스템의 성능을 향상시키기 위해 특별히 설계된 최첨단 원자로입니다. AIXTRON G 4는 통합 공정 제어, 긴 증착 실행 및 반복 가능한 증착 결과로 인해 다른 원자로 중에서 두드러집니다. 또한 실험실 등급 회전 실린더 챔버 (Cylinder Chamber) 와 절연 된 육각형 (Chexagonal Cavity) 을 갖춘 특허 디자인이 있습니다. 이 원자로는 시제품 생산뿐만 아니라 중대량 생산에도 적합합니다. G4 는 "마이크로 '파" 에너지' 를 사용 하여 "플라즈마 '를 만든다. 기체 혼합물 (gas mixture) 과 압력 (pressure in different layer) 을 독립적으로 제어할 수있는 다중 소스 기능이있는 e-gun을 사용합니다. "가스 '혼합물 은 반응 과 비활성 모두 일 수 있으며, 정밀 하게 감시 할 수 있으므로, 성장" 필름' 을 복잡 하게 제어 할 수 있다. 또한 G 4 에는 압력 "센서 '와 외부 로 작동 하는" 가스' 조절 장치 가 장착 되어 있다. 이를 통해 온도를 관리하고 플라즈마 공정 매개변수를 더 잘 제어할 수 있습니다. 또한 2 배 이상 효율이 높은 진공 시스템 (vacuum system) 을 갖추고 있어 반복 가능한 결과와 함께 긴 증착 런을 허용합니다. 핵심 프로세스 기능에는 정확한 필름 두께와 우수한 화학량 론이 포함됩니다. 또한 고품질 필름, 우수한 전자 이동성 (electron mobility), 뛰어난 성장률 (expanding growth rate) 을 특징으로하며, 다른 시스템에서 달성하기 어려운 특성과 구성으로 필름을 생성할 수 있습니다. AIXTRON G4는 또한 데이터 로깅뿐만 아니라 플라즈마 매개변수에 대한 실시간 온라인 모니터링 기능을 갖춘 모니터링 및 제어 (monitoring and controling) 기능도 뛰어납니다. 이를 통해 데이터와 정보를 손쉽게 아카이빙하고 검색할 수 있습니다. 결론적으로, AIXTRON G 4는 MPCVD 시스템의 성능을 크게 향상시킬 수있는 고급, 다용도 및 신뢰할 수있는 원자로입니다. 특허를받은 디자인, 고품질 필름, 온도 조절 및 긴 증착 실행은 나노 기술 (nanotechnology) 에서 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 프로토 타입 및 생산 사용에 이상적입니다.
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