판매용 중고 AIXTRON G4 #9181339

AIXTRON G4는 자동화되고 다재다능한 생산 수준 MOCVD 원자로로서, 광범위한 어플리케이션을 위해 optoelectronic 장치를 효율적이고 안정적으로 생산할 수 있습니다. AIXTRON G 4는 높은 정확도, 정밀도 및 반복성으로 에피 택셜 성장 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. 원자로 (reactor) 는 정확한 성장 과정에 필요한 고속, 연속 운동을 제공하는 강력한 모터를 특징으로합니다. 원자로에는 공정 챔버 전체에 균일 한 열 가열을 생성하기위한 유도 가열 석영 냉벽 및 텅스텐 할로겐 램프 (tungsten halogen lamps) 도 포함되어 있습니다. G4는 고급 레시피 에디터 (Advanced Recipe Editor) 를 사용하여 사용자가 성장 프로세스에 비해 완전한 유연성을 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 가스 흐름, 오븐 온도, 가스 컷오프 (gas cut-off) 및 증착 단계 타이밍을 구성하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 과잉 증착 및 가스 혼합물 문제를 방지하기 위해 수량 기반 차단 (quantity-based shut-off) 과 같은 고급 안전 기능을 제공합니다. 또한, G 4는 전체 프로세스 동안 성장 매개변수를 정확하게 제어하는 로컬 온도 센서로 온도 피드백 제어 (temperature feedback control) 를 제공합니다. AIXTRON G4는 6cm 성장 표면을 가진 직경 25cm의 공정 챔버로 구성됩니다. AIXTRON G 4 원자로는 장기 실험을 위해 유지 보수 및 청소가 용이하도록 강력한 설계를 제공합니다. 이 장비는 또한 진공 (vacuum) 원격 뷰 시스템 (remote view system) 을 제공하여 사용자가 장치를 열지 않고도 기판의 위치와 성장 결과를 검사할 수 있습니다. 이것은 생산 효율과 안전을 향상시키는 데 도움이됩니다. G4는 알루미늄 갈륨 비소 (AlGaAs) 활성 층, 다층 구조 및 기타 화합물 반도체 재료와 같은 III-V 재료의 성장을 촉진하기 위해 설계되었습니다. 특히 "레이저 '나 광검출기 와 같은 고성능 광전자 장치 의 제작 에 적합 하다. 이 기계는 인라인 (inline) 생산을 위해 다른 공정 챔버 (process chamber) 를 쉽게 상호 연결하도록 설계되었으므로 저렴한 비용으로 기기를 대량 생산하는 데 적합합니다.