판매용 중고 AIXTRON G4 #293592747
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AIXTRON G4 원자로는 반도체 및 기타 미세 전자재 생산에 사용되는 고 생산성, 폐쇄 루프 수평 원자로의 한 유형입니다. 이 유형의 원자로는 GaAs, GaN 및 AlN 재료의 제조에 널리 사용됩니다. 이것은 매우 효율적이고 쉽게 조정할 수 있도록 설계되었으며, 에피 택시층 (epitaxial layer) 의 성장에 최적의 조건을 제공합니다. AIXTRON G 4 (AIXTRON G 4) 는 경쟁 원자로에 비해 우수한 열 청결도를 자랑하며, 이는 증착 조건을 더 잘 제어하고 재생성을 향상시킵니다. G4의 낮은 작동 온도는 총 생산 시간을 크게 줄임으로써 효율성이 높습니다. 원자로 의 안정성 과 견고 한 설계 를 통해 장기간 계속 사용 할 수 있으며, 따라서 가동 중지 시간 을 없애고, 유지 보수 비용 을 줄여줍니다. G 4의 이동 가능한 스윙 암은 균일 한 챔버 동작과 뛰어난 각도 균일성을 가능하게합니다. 이렇게 하면 주기 시간이 단축되고, 높은 수율, 우수한 스텝 커버리지, 웨이퍼 왜곡에 대한 감수성이 떨어집니다. AIXTRON G4는 최대 2 개의 기판 홀더를 수용하며, 리프팅 장비를 사용하면 기판 조작이 쉽습니다. AIXTRON G 4는 트렌드 추적, 경보, 프로세스 진단, 피드백 (feedback) 기능을 위한 고급 자동화 기능을 통합하여 원활한 운영 프로세스를 보장합니다. 강력한 네트워크 PC 제어 시스템은 온라인/오프라인 모드에서 다양한 애플리케이션을 간편하게 제어, 분석합니다. 이를 통해 G4 장치는 R&D 응용 프로그램뿐만 아니라 장치 유형의 생산에 이상적입니다. 또한, G 4의 지능형 가스 전달 기계는 정확한 가스 흐름과 낮은 유동 맥동을 가능하게합니다. 이는 개선된 전류 흐름을 지원하는 정확하고 균일한 이미터/컬렉터 간격을 보장합니다. 또한, AIXTRON G4에는 단일 웨이퍼 균일 모니터 (wafer uniformity monitor) 가 포함되어 있으며, 이는 잠재적 인 문제를 감지하기 전에 사용할 수 있습니다. 요약하면, AIXTRON G 4 원자로는 고급 마이크로 전자 기술을 제작하기위한 이상적인 솔루션입니다. 쉽게 조정하고, 신뢰성이 높으며, 뛰어난 열 청결 및 자동 제어를 제공합니다. 낮은 작동 온도와 뛰어난 균일성 (unifority) 으로, G4는 높은 수율과 최소한의 총 생산 시간을 가진 최고 품질의 재료를 제공합니다.
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