판매용 중고 AIXTRON G2 #9222131

AIXTRON G2는 메탈 박스 프레임, 다양한 컨트롤러 및 샘플 홀더 구성을 갖춘 모듈식 및 업그레이드 가능한 증착 장비입니다. 이 시스템은 금속 화학 증기 증착 (MOCVD) 또는 더 일반적으로 금속 유기 증착 (MOD) 으로 알려져 있습니다. 고품질 멀티 양자 웰 III-V 반도체 장치의 효율적인 생산을 위해 설계되었습니다. 이 장치의 주요 구성 요소는 증착실입니다. 증착실 (deposition chamber) 은 압력 모니터를 사용한 몰드 전구체 도입을위한 RF 구동 플라즈마 소스, 샘플과 웨이퍼의 빠른 방출 및 교체를위한 메커니즘이있는 2 축 샘플 홀더, 최대 12 인치 크기의 기판을 지원하는 가공소재 스탠드. 이 기계는 또한 증착실의 다중 구역 대기 제어 (multi-zone atmospheric control) 를 제공하여 정확한 생산 결과를 보장합니다. G2는 광범위한 프로세스 레시피를 지원하여 포스포 변환 LED (PC-LED), 질화 갈륨 (GaN) 장치, 고도핑 기판, 나노 와이어 및 양자 우물 구조와 같은 다양한 응용 프로그램을 수용 할 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 영역 별 프로세스 제어 옵션 (가변 증착률, 조정 가능한 RF 전력 포함) 이 추가로 제공됩니다. 이는 박막 결정질 (Thin Film Crystalline) 템플릿 증착에 대한 자산의 기능을 증가시켜 장치 제작과 관련된 다양한 프로세스를 지원합니다. 이 모델에는 고급 모니터링 및 제어 장비도 장착되어 있습니다. 이 시스템을 통해 사용자는 실시간으로 진행 상황을 모니터링할 수 있으며, 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 원격으로 조정할 수도 있습니다. 또한 사용자는 레시피를 저장, 리콜하고 프로세스 레시피를 최적화할 수 있습니다. 즉, 장치를 유연하게, 다른 디바이스의 특정 요구 사항을 충족할 수 있게 해 줍니다. 기계 유지 보수 및 수리를 위해 AIXTRON G2는 현장 지원 및 유지 보수 서비스를 제공합니다. 즉, 공구를 장기간 사용한 후에도 운영 성능이 일관되게 유지됩니다. 전반적으로, G2 는 다양한 기능과 프로세스 기능을 갖춘, 신뢰할 수 있는 모듈식/업그레이드 가능한 증설 자산입니다. 고품질 III-V 디바이스를 효율적으로 생산할 수 있도록 하면서 프로세스 안정성과 일관성을 제공하도록 설계되었습니다.