판매용 중고 AIXTRON Crius #9222205

AIXTRON Crius는 고급 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 시스템입니다. 특히 광학 (optical), 전자 (electronic), 의료 (medical) 제품의 개발 및 생산에 광범위한 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. 다재다능하며 유리, 플라스틱, 금속, 도자기 등 다양한 기질로 작동 할 수 있습니다. 크리 우스 원자로는 고밀도 광선 방전을 효율적으로 만들기 위해 고급적이고 혁신적인 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용합니다. 이 광선 방전은 필름 컴포지션, 증착 프로세스 매개변수 및 필름 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로의 ICP 구성 요소는 높은 전력 밀도와 "소프트 스타트 (soft start)" 기능을 결합하여 작동 중 먼지와 오염을 최소화합니다. 원자로는 또한 온도 조절 "콜드 월 (cold wall)" 챔버를 특징으로하며, 이는 소음을 줄이고 균일 한 필름 증착 조건을 달성하는 데 도움이됩니다. AIXTRON Crius 원자로는 질화물, 산화물, 금속 및 탄소 나노 튜브 및 그래 핀과 같은 더 이국적인 물질을 포함하는 다양한 박막 (thin film) 을 퇴적시키는 데 사용될 수 있습니다. 이 재료를 다양한 두께로 배치 할 수 있으며, 탁월한 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 제공합니다. 또한 고급 레시피 제어 (Advanced Recipe Control) 기술을 사용하여 전체 증착 프로세스를 자동화하고 수동 개입이 필요하지 않습니다. 크리 우스 (Crius) 원자로는 반도체 장치 제작과 광전자 장치 제조에 사용되는 박막 증착 프로세스에 적합합니다. 다용도 디자인과 고품질 박막 (Thin Film) 을 만드는 능력은 산업용, 연구용 응용프로그램을 위한 매력적인 선택이다. 프로토 타입 (prototype) 과 대규모 산업 생산에 모두 적합하며, 설치, 유지 보수, 관리가 용이한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로 AIXTRON 크리우스 (AIXTRON Crius) 는 다양한 응용 분야를 위해 고품질의 균일 한 영화를 만들 수있는 뛰어난 원자로입니다. 고급 ICP 플라즈마 소스는 증착 과정을 정확하게 제어 할 수있는 반면, "콜드 월 (cold wall)" 챔버는 노이즈를 줄이는 데 도움이됩니다. 자동화된 레시피 제어 (automated recipe control) 기능과 같은 사용자 친화적 (user-친화적) 기능을 통해 산업 생산 또는 연구 응용프로그램에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.