판매용 중고 AIXTRON Crius #9184896

AIXTRON Crius는 AIXTRON에서 개발 및 제조 한 고온 화학 증기 증착 (HTCVD) 원자로입니다. 크라이어스 (Crius) 원자로는 다양한 고품질 증착 공정을 사용하여 대용량 박막 (thin film) 과 나노 구조 장치 생산을 위해 설계되었습니다. 원자로에는 완전 투과성 탑모자 (top-hat) 형 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 가 장착되어 기판 또는 샘플에 쉽게 접근 할 수 있습니다. AIXTRON Crius는 OLED (Organic Light-Emitting Diode) 및 박막 태양 전지와 같은 연구 개발 응용 분야에 이상적입니다. 크리 우스 (Crius) 는 최대 400 ° C의 온도에서 작동하는 안정적이고 효율적인 원자로입니다. AIXTRON 특허 멀티 포인트 점화 시스템 (Multi-Point Ignition System) 을 장착하여 빠른 시동 및 간편한 청소 및 유지 관리 프로세스를 지원합니다. 원자로는 또한 AIXTRON 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 와 작동하도록 설계되었으며, 이를 통해 빠르고 정확한 프로세스 매개변수 튜닝이 가능합니다. AIXTRON 크리우스 (AIXTRON Crius) 는 완전 자동화된 로드 및 언로드 시스템을 갖추고 있으며, 몇 분 안에 기판을 챔버 안팎으로 이동할 수 있습니다. 통합형 RF 전원 발전기 (Power Generator) 를 사용하면 균일하고 효율적인 결과를 얻을 수 있는 높은 수준의 성능을 쉽게 얻을 수 있습니다. 크라이우스 (Crius) 원자로는 증류실과 감수계 (susceptometer) 랙으로 강화되어 서로 다른 재료의 화학적, 물리적 특성을 신속하게 분석 할 수 있습니다. 또한, AIXTRON Crius 원자로는 AIXTRON 고급 가스 전달 시스템과 호환되며, 반응성 가스를 쉽고 안전하게 처리 할 수 있습니다. 크리 우스 (Crius) 는 시간당 최대 400 웨이퍼의 고속 생산 속도를 자랑하여 대량 생산 작업에 이상적인 솔루션입니다. 원자로 (reactor) 는 설치 및 유지 보수 요구 사항을 최소화하면서 기존 생산 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 원자로는 광범위한 공정 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 실란 (Silane), 실록산 (Siloxane) 및 할로겐 화학 기반 증착 공정에 사용될 수 있습니다. 또한 AIXTRON Crius에는 가스 탐지기, 화재 탐지기, 과압 보호, 단열 처리 가스 공급 라인 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 요약하자면, Crius는 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 매우 다재다능한 HTCVD 원자로입니다. 자동 로드/언로드 시스템, 안전 (Safety) 기능, 프로세스 제어 소프트웨어가 장착되어 있어 고품질의 박막 (Thin Film) 및 나노 구조화된 장치를 대규모로 생산할 수 있습니다.