판매용 중고 AIXTRON Crius #9184895

AIXTRON Crius는 다양한 반도체 프로세스에 사용될 수있는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 크리 우스 (Crius) 는 다른 고전적인 CVD 원자로가 달성 할 수있는 것보다 낮은 온도와 압력에서 넓은 지역에 걸쳐 높은 균일 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 원자로는 또한 시장에서 가장 낮은 운영 비용을 제공합니다. 원자로는 이중 샤워 헤드 배열을 사용하며, 이는 증착 과정의 균일성을 더한다. 이 구성 은 "가스 '의 흐름 이" 챔버' 의 양쪽 에 균등 하게 침투 하도록 하고, 약실 내 에 증착 된 물질 의 양 의 변화 를 피하게 한다. 회전하는 원형 샤워 헤드 (rotating circular shower head) 를 사용하면 챔버 가장자리에서 증착 과정의 매끄러움이 크게 향상됩니다. AIXTRON Crius 원자로는 다양한 반도체 공정에 의해 필요한 온도에 도달 할 수 있으며, 최대 1,500 ° C입니다. 크리 우스 (Crius) 에는 3 개의 RF 커패시터가 장착되어 있으며, 현장 플라즈마 생성을 위해 구성되어 있으며, 더 높은 원자로 성능과 더 높은 물질 밀도를 처리 할 수있는 가능성이 있습니다. 원자로는 공정 매개변수에 따라 5 mBar ~ 6.7 bar의 압력 범위에서 작동 할 수 있습니다. AIXTRON Crius는 또한 광범위한 가스 구성을 제공하여 다양한 응용 프로그램을 이용할 수 있습니다. 향상된 프로세스 제어 옵션에는 자동 챔버 제거, 자동 가스 전환, 실시간 프로세스 모니터링 등이 있습니다. 크리 우스 (Crius) 는 또한 AXR SDK 소프트웨어 제품군과 호환되며, 이는 원자로를 더 큰 환경으로의 통합을 용이하게합니다. 이 소프트웨어에는 생산성 모니터링, 부품 종속 중첩 (part-dependent nesting), 고급 경로 계산 (advanced route calculation) 을 통합한 완벽한 데이터 수집 기능뿐만 아니라 고급 외부 객체 감지 기능도 포함되어 있습니다. 운영 비용이 저렴하고 프로세스 제어 및 강력한 소프트웨어 제품군을 갖춘 AIXTRON 크리우스 (AIXTRON Crius) 는 반도체 및 태양 전지 처리에 이상적인 선택입니다.