판매용 중고 AIXTRON Crius-R #9260376

AIXTRON Crius-R은 AIXTRON이 고순도 화합물 반도체 생산을 위해 설계하고 개발 한 에피 택시 원자로의 한 유형입니다. 이러한 반도체에는 다양한 갈륨 비소 (GaAs), 인화 인듐 (InP) 및 알루미늄 갈륨 비소 (AlGaAs) 가 포함됩니다. 원자로는 광범위한 성장 매개변수를 허용하며, 생산 규모 (production-scale) 와 연구 등급 (research-grade) 응용 모두를 위해 설계되었습니다. Crius-R 에피 택시 (epitaxial) 원자로는 내부 서셉터를 사용하지 않으므로 고품질 에피 택시 레이어를 생산하는 데 더 적합합니다. 또한, 성장 프로세스 전후에는 워밍업 (Warm-up) 또는 냉각 (cooldown) 시간이 필요하지 않으므로 대규모 생산 수량에 높은 처리량을 제공합니다. 또한, 원자로의 효율적인 설계로 인해, 공정 반복 성과 재생성을 높입니다. AIXTRON Crius-R 에피 택시 원자로에는 고유 한 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM) 센서가 장착되어 있어 에피 택시 층의 엔드 포인트 검출이 가능합니다. 이 개선 된 엔드포인트 탐지 (endpoint detection) 를 통해 성장 프로세스에 대한 제어가 향상되어 성장하는 레이어의 품질이 향상됩니다. 크리 우스 -R (Crius-R) 은 또한 혁신적인 가스 입구 및 독립 제어를 특징으로하며, 이는 원하는 에피 택시 층을 생산하는 데 중요합니다. 또한, 원자로는 통합 쿨다운 (cool-down) 모듈을 제공하여 성장 온도를 극적으로 줄이고 기질의 수명을 크게 향상시킵니다. AIXTRON Crius-R 에피 택시 (epitaxial reactor) 에는 운영 중 위험한 상황의 위험을 줄이기 위해 여러 가지 통합 된 안전 기능이 있습니다. 원자로에는 고품질 결과를 보장하기 위해 성장 과정을 모니터링하는 다양한 진단 (diagnostics) 도 포함되어 있습니다. 결론적으로, 크리 우스 -R 에피 택셜 (Crius-R epitaxial) 원자로는 생산 규모 및 연구 등급 응용 모두를 위해 설계되었으며, 연구자와 엔지니어는 고순도 화합물 반도체 개발 및 제조를위한 효율적이고 신뢰할 수있는 도구를 제공합니다. 통합 안전 기능 및 QC 센서는 에피택셜 (epitaxial) 프로세스를 최대한 제어하고, 높은 수준의 반복 가능성과 재생성을 제공합니다.