판매용 중고 AIXTRON Crius-R #293667918

AIXTRON Crius-R은 독일 장비 제조 회사 AIXTRON이 설계 한 고급 에피 택시 원자로입니다. 이 최첨단 에피 택시 원자로는 고급 III-V 및 인듐 포스파이드 (Indium Phosphide) 반도체 웨이퍼에 대한 매우 정밀한 레이어 두께와 품질 제어가 필요한 응용 분야에 이상적입니다. Crius-R 원자로 (Crius-R reactor) 는 다단계 계층 성장, 맞춤형 레시피 등 광범위한 성장 프로세스를 가능하게하기 위해 고급적이고 비용 효율적인 도구로 개발되었습니다. AIXTRON Crius-R 원자로는 AIXTRON 입증 된 MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 기술을 갖추고 있으며, 이는 뛰어난 레이어 두께와 품질로 넓은 지역에 균일 한 증착을 제공합니다. 초단파 펄스 레이저 절제 기술 (ultra-short pulse lasers ablation technology) 을 사용하여, 크리 우스 -R 원자로는 큰 기판 영역에 대한 금속의 불균일 한 분포를 보상하여 성장 과정 과정을 정확하게 제어합니다. AIXTRON 크리우스 -R (Crius-R) 원자로는 놀라운 레이어 성장 능력 외에도 뛰어난 품질 제어를 제공하여 높은 수율 생산을 보장합니다. 첨단 진단 (Advanced Diagnostics) 에는 인간 개입의 필요없이 주변 대기의 압력을 모니터링하는 고급 압력 모니터 (Advanced Pressure Monitor) 가 포함됩니다. 열 이미징 시스템은 또한 실시간으로 볼 수있는 성장 조건에 대한 피드백을 제공합니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 애플리케이션의 품질을 극대화할 수 있습니다. Crius-R (Crius-R Reactor) 은 다양한 애플리케이션에 적합한 다양한 프로세스 레시피를 갖추고 있으며, 다양한 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 생산 또는 연구/개발에 적합합니다. 또한 사용 및 유지 보수가 용이하며, 테스트 웨이퍼의 바코드 스캔, 기판의 자동 회전, 필요한 레이어의 모니터링 증착 (monitored deposition) 과 같은 뛰어난 자동화 기능을 제공합니다. 전반적으로 AIXTRON Crius-R은 비용 효율적인 고급 에피 택시 (epitaxial) 원자로로, 레이어 성장 프로세스의 뛰어난 제어 및 정밀도를 제공합니다. 반도체 업계의 다양한 응용프로그램을 위한 최적의 선택이 되도록 하는 다양한 기능과 장점 (영문) 이 있다.