판매용 중고 AIXTRON Crius II #9272526

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제조사
AIXTRON
모델
Crius II
ID: 9272526
빈티지: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
AIXTRON Crius II는 박막 및 코팅의 증착을 위해 설계된 최첨단 생산 규모 원자로입니다. 이 제품은 약 2x2 cm (약 2x2 cm) 에서 풀 챔버 (full chamber) 크기까지 넓은 지역에 걸쳐 얇은 필름과 코팅을 균등하고 잘 정의 할 수있는 특수 설계 구조를 갖추고 있습니다. 크리 우스 II (Crius II) 는 배치 및 생산 공정에 모두 사용될 수 있으며, 마이크로 일렉트로닉스, 광학 코팅 및 재료 연구와 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. AIXTRON Crius II는 2800 와트 마이크로파 발전기, 온도 조절 시스템, 자동 프로세스 제어 및 이더넷 통신 인터페이스를 갖춘 고출력, 고용량 원자로입니다. 이 공정은 2 개의 코일을 사용하여 마이크로파 필드를 생성하며, 각각 1400 W의 전력을 가지고 있습니다. 이 공정은 높은 적합성과 균일성을 가진 박막 증착 능력을 향상시킵니다. 원자로에는 10 인치 터치 스크린 디스플레이가있는 온보드 컴퓨터도 있습니다. 이 디스플레이는 증착 프로세스 (deposition process) 동안 이벤트를 모니터링하고 온도, 시간, 압력 등 다양한 프로세스 변수에 액세스하는 데 사용됩니다. 이 올인원 (All-in-One) 터치 제어 시스템을 사용하면 운영자의 스테이션에서 직접 프로세스 조정을 수행할 수 있습니다. 크리 우스 II (Crius II) 의 최대 전송 전력은 2800 와트이지만 특정 박막 증착 프로젝트의 요구 사항에 맞게 동력을 조정할 수 있습니다. 이 수준의 유연성은 실리콘, 유리, 금속 (metal) 과 같은 다양한 기판에서 박막 증착에 이상적입니다. AIXTRON Crius II는 사용자가 다른 생산 규모 원자로보다 최대 2.5 ~ 3 배 높은 증착률을 달성 할 수있는 고효율 원자로입니다. 또한 고급 단일 램프 소스 구성 (single-lamp source configuration) 으로 인해 증착 균일성이 향상되어 전체 챔버에서 생성 된 열을 균일 하게 분포 할 수 있습니다. 이것은 또한 Crius II가 짧은 주기 시간을 포함하는 것과 같은 빠른 증착 프로세스에 이상적입니다. AIXTRON Crius II 원자로는 다양한 기능을 제공하며 다양한 응용 프로그램 및 증착 프로세스에 적합합니다. 크리우스 II (Crius II) 는 고급 기능과 효율적인 설계를 통해 빠르고 쉬운 코팅 (coating) 생산 프로세스를 지원하므로 개발 실험실에 이상적인 선택입니다.
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