판매용 중고 AIXTRON Crius II #9272520

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제조사
AIXTRON
모델
Crius II
ID: 9272520
빈티지: 2011
MOCVD System Eurotherm Missing 2011 vintage.
AIXTRON Crius II는 대용량 실리콘 및 화합물 반도체 생산을 위해 설계된 이중 소스, 최첨단 MOCVD 원자로입니다. 소형 발자국과 사용자 친화적 인 작업 표면을 자랑합니다. 다양한 혁신적인 기능을 갖춘 Crius II는 빠른 웨이퍼 전송 (Wafer Transfer), 높은 처리율 (Throughput Rate), 수동 및 자동 제어 옵션을 통해 프로세스 향상 이점을 제공합니다. AIXTRON Crius II는 실리콘 기판/웨이퍼, 고효율 태양 전지 생산, LED 제작, MEMS/MOEMS, 3D IC 및 HC GRIN 렌즈 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. Crius II는 프로세스 반복성을 향상시키기 위해 정밀 코터 및 도량형 시스템을 제공합니다. 고급 독립 이중 소스 (Independent Dual-Source) 장비는 각 개별 애플리케이션에 대해 정확하게 최적화된 성장 조건을 제공하며, 이는 수율 증가와 주기 시간 단축을 지원합니다. 가스원 (gas source) 과 같은 각 소스는 자체 특정 조건 세트를 생성할 수 있으며, 시스템 성능을 극대화할 수 있는 유연성을 제공합니다. AIXTRON Crius II는 또한 복잡한 구조에 대한 다중 계층 증착을 가능하게하는 고효율, 구성 가능한 다중 반응기 설계를 특징으로합니다. 고급 광학 간섭계는 프로세스 튜닝을 양방향으로 지원합니다. 이 장치에는 실시간 파장 및 강도 제어 (intensity control) 가 있어 프로세스 최적화를 동적으로 수행할 수 있습니다. 또한, 크리우스 II (Crius II) 는 광 필터 측정을위한 전용 반사 측정 솔루션을 제공하며 증착 프로세스에 대한 지속적인 광학 모니터링을 제공합니다. AIXTRON Crius II는 광범위한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 기후 제어 설계는 닫힌 루프, 압축 공기 냉각기를 사용하여 프로세스 성능을 향상시킵니다. 또한 Crius II는 AIXTRON 글로벌 서비스 팀의 지원을 가능하게 하는 고급 원격 액세스 디버깅 기능을 제공합니다. 전반적으로 AIXTRON Crius II는 안정적이고 견고한 올인원 (All-in-One) MOCVD 원자로로 제조업체가 고성능, 확장성 및 사용자 유연성의 이점을 제공합니다. 높은 처리 속도, 정밀 프로세스, 안전 기능 및 고급 광학 모니터링을 통해 Crius II는 대용량 복합 반도체 기판을 제조하는 데 적합합니다.
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