판매용 중고 AIXTRON Crius II #9044174

제조사
AIXTRON
모델
Crius II
ID: 9044174
MOCVD system 2011 vintage.
AIXTRON Crius II는 고급 원자로 기술의 선두 공급 업체 인 AIXTRON이 설계하고 제조 한 최첨단 원자로 솔루션입니다. Crius II는 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 신뢰할 수 있는 고성능 환경을 제공하도록 설계되었습니다. AIXTRON Crius II (AIXTRON Crius II) 는 성장과 에치를 포함한 다양한 응용 분야에 사용할 수있는 맞춤형 설계를 갖춘 단일 웨이퍼 원자로입니다. 박막 증착 (Thin Film Deposition) 에서 표면 처리 (Surface Treatment) 에 이르기까지 다양한 프로세스를 지원하기 위해 모듈 식 아키텍처로 설계되었습니다. 또한 통제 된 대기에서 최대 1000 ° C의 온도를 제공 할 수 있습니다. Crius II의 핵심 기술은 AIXTRON Pan-Flow ™ 프로세스 제어 기술이며, 이를 통해 사용자는 원자로 프로세스 매개변수를 정확하게 사용자 정의할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제어하고 최적화하여 원자로 작동을 최대한 활용할 수 있습니다. AIXTRON Crius II는 AIXTRON Direct Cold-plate ™ 및 AIXTRON Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) 기술로 설계되어 MOCVD, Deposition Layer Enhanced Process (Peessed), Plession Atess 또한 Crius II (Crius II) 에는 고급 자동화 및 프로세스 제어 도구가 포함되어 있어 시스템이 보다 효율적이고 안정적으로 실행할 수 있습니다. 여기에는 프로세스 매개 변수에 대한 고급 제어 기능을 제공하는 AIXTRON AutoPilot 소프트웨어가 포함됩니다. 또한 AutoPilot 소프트웨어를 사용하면 시스템의 프로세스 유연성을 활용할 수 있습니다. 즉, 전력 소비를 낮추고 처리량을 늘리는 데 사용할 수 있습니다. AIXTRON Crius II는 산업 및 연구 응용 프로그램에 안정적인 성능, 정확성 및 안전을 제공하도록 설계되었습니다. 고유한 엔클로저 및 온도 센서 (Temperature Sensor) 구성으로 프로세스 매개변수가 항상 일관되고 안정적으로 유지되도록 하여 최대한의 안전을 위해 최적화되었습니다. Crius II는 또한 사용자 (user) 나 주변 환경에 아무런 피해가 없도록 하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능을 포함합니다. 전반적으로, AIXTRON Crius II는 사용자에게 최고 수준의 성능, 유연성, 안전성을 제공하도록 설계된 신뢰할 수 있는 고급 원자로 솔루션입니다. 모듈식 아키텍처 (Modular Architecture) 를 통해 사용자는 특정 요구에 따라 원자로 매개변수를 빠르고 쉽게 사용자 정의할 수 있으며, 고급 자동화/공정 제어 도구를 통해 사용자가 원자로 작동을 최대한 활용하도록 할 수 있습니다.
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