판매용 중고 AIXTRON Crius II #293823200

AIXTRON Crius II Industrial MOCVD Reactor는 고급 에피 택시 성장을 위해 설계된 신뢰할 수 있고 최첨단 증착 도구로, 화합물 반도체 재료 제조에 이상적입니다. 이 모듈식 금속-화학-증기 증착 (MOCVD) 장비는 업데이트 된 디자인과 다양한 기능 덕분에 탁월한 성능, 안정성, 프로세스 일관성을 제공합니다. Crius II 원자로는 2x2x2 인치 최대 웨이퍼 크기 용량, 쿼츠 챔버의 자동 사전 조건 (APC) 및 정확한 프로세스 모니터링을 자랑합니다. 개방형 루프 사용자 정의 전제 장치, 가스 전구체 분포의 폐쇄 루프 활성 제어, 원자로 챔버 내부의 압력, 온도, 오존 (O3) 혼합물의 활성 모니터링 등 다양한 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. 이 시스템은 또한 EDUF (Enhanced device unifority) 모드 (옵션) 를 제공하여 전구체 분포를 최적화하고 기판의 균일성을 향상시킵니다. AIXTRON Crius II 원자로는 맞춤형 AIXTRON 배기 장치를 사용하여 가장 적은 설치 공간으로 더 높은 배기 흐름을 생성합니다. 또한, 고해상도 광학 피로미터는 반응 챔버의 온도를 섭씨 1/10 이내까지 측정하는 데 도움이됩니다. 이를 통해 프로세스 성능을 일관되게 유지할 수 있는 반복 가능한 환경을 제공합니다. Crius II 원자로는 금속 유기 CVD, 실리콘-게르마늄 증착 및 기타 화합물 반도체 재료, LED 웨이퍼 생산과 같은 다양한 생산 프로세스에 적합합니다. 즉, 무중단 업무 운영에 사용되는 경우에도 최고 수준의 wafer-throughput (wafer-throughput) 을 지속적인 품질과 성능에 맞게 최적화됩니다. 강력한 디자인 뒤에 AIXTRON Crius II 원자로에는 여러 사용자 친화적 인 옵션과 기능이있는 운영자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 결론적으로, 크리 우스 II (Crius II) 는 최고의 공정 제어 및 성능을 가진 화합물 반도체 재료의 최대 에피 택셜 성장을 위해 설계된 신뢰할 수있는 최첨단 산업 MOCVD 원자로입니다. 이 머신 (machine) 은 다양한 옵션을 갖춘 신뢰할 수 있는 프로덕션 플랫폼이 필요한 모든 시설에 이상적인 선택입니다.