판매용 중고 AIXTRON Crius II #293660321

AIXTRON Crius II는 그룹 III 질화물의 박막 증착을 위해 설계된 벤치 탑 비 분자 빔 에피 택시 (MBE) 원자로입니다. 청색 발광 다이오드 (LED), 레이저 다이오드 (LD) 와 같은 이종 분사 응용 프로그램을위한 이러한 재료의 고품질 박막을 생산할 수 있습니다. Crius II는 금속 유기 화학 증발 (MOCVD) 및 분자 빔 에피 택시 (MBE) 를 모두 지원합니다. 원자로의 용광로 부분은 최대 1250 ° C의 온도를 제공 할 수 있습니다. 원자로의 디자인은 epitaxial 성장실 전체에서 균질 한 조건을 보장합니다. AIXTRON Crius II는 사용 편의성과 안정적인 증착을 지원하기 위해 여러 가지 기능을 갖추고 있습니다. 여러 가열 기술 (유도, 직접 및 RTA) 과 냉각 시스템이 장착되어 온도 균일성을 유지합니다. 최대 80 sccm의 유량을 C2H4, NH3 및 Ar에 공급하기위한 가스 전달 장비가 있습니다. 모든 물질의 열 증발을 지원하는 흑연 필라멘트 (graphite filament) 와 필요한 경우 InGaAs의 열 증발을위한 또 다른 도가니 (crucable) 도 있습니다. 크리 우스 II (Crius II) 는로드 락 진공 시스템을 가지고 있으며, 이는 하중 잠금 챔버에서 저압으로 성장실을 대피 할 수 있습니다. 하중 잠금 챔버 (load-lock chamber) 는 또한 마모제 내성 창을 특징으로하여 성장 챔버의 고온으로부터 하중 잠금 챔버를 보호합니다. 원자로는 또한 최대 10-8 torr의 높은 진공 작동을 지원하기 위해 터보 분자 펌프를 특징으로합니다. 원자로의 자동 소프트웨어는 한 번에 최대 20 개의 개별적으로 프로그래밍 가능한 증착 매개변수를 지원할 수 있습니다. 이것은 AIXTRON Crius II를 MBE 및 MOCVD 증착을위한 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 단위로 만듭니다. 또한, in situ He 압력 및 열 프로파일 측정 기계는 침착 된 층의 품질을 측정합니다. 결론적으로, 크리 우스 II (Crius II) 는 고급 벤치 탑, MBE/MOCVD 원자로로, 광범위한 응용에서 그룹 -III 질화물의 얇은 필름 성장에 균일 한 조건을 제공 할 수있다. 원자로에는 자동화 소프트웨어 (automated software), 여러 가열 소스 (multiple heating source), 조임 진공 제어 (tight vacuum control) 와 같은 증착 품질을 쉽게 사용하고 개선하는 몇 가지 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 파란색 LED 및 레이저 다이오드에 유용한 고품질 박막 (thin film) 을 배치하기에 이상적인 장치입니다.