판매용 중고 AIXTRON Crius II #293627743

AIXTRON Crius II는 금속 및 유전체의 박막 증착을 위해 설계된 고성능, 고체 증착 시스템입니다. AIXTRON Crius 시리즈의 가장 고급 버전이며 나노 재료 제작에서 게임 체인저로 널리 알려져 있습니다. Crius II는 광학 및 전자 어플리케이션을위한 박막 생산에 높은 처리량, 재생성, 신뢰성을 결합합니다. 이 시스템은 2 개의 모듈 식 소스, 소스 제어 유닛 및 소스 선박 (모두 독립적으로 제어 된 열 조건) 으로 구성됩니다. 기판은 치수가 최대 200mm 일 수 있으며, 최대 1000 ° C에 도달 할 수있는 가열 된 스테이지에 배치 할 수 있습니다. 마그네트론 (magnetron) 과 도가니 소스 (crucible source) 를 포함하여 다양한 탈착식 증착 소스를 사용할 수 있으며, 광범위한 박막 형성 프로세스가 가능합니다. AIXTRON Crius II는 두께가 균일하고 특성이 뛰어난 박막을 제작할 수 있으며, 최대 400nm/min의 높은 증착률을 제공합니다. 이 시스템은 화학량 론이 좋고 결함 밀도가 줄어든 금속 산화물 필름 (metal oxide film) 과 뛰어난 표면 거칠기와 우수한 거시 형태 (macro-morphology) 를 가진 금속 필름을 전달할 수 있습니다. 또한 높은 처리량 (Throughput Capability) 으로 설계되었으며 씬 필름 (Thin Film) 과 나노 구조화 된 재료의 대규모 생산에 최적화되었습니다. Crius II (Crius II) 는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 프로세스 제어를 가능하게 하며 다양한 박막 재료를 위한 레시피를 사전 설치하여 프로세스 제어를 자동화합니다. 또한 고급 안전 기능 및 온도 모니터링 시스템도 갖추고 있습니다. AIXTRON 크리우스 II (AIXTRON Crius II) 는 고성능 박막 제작에 이상적인 선택으로, 균일성과 특성이 향상된 박막 제작이 가능합니다. 다양한 이동식 소스, 높은 증착율, 쉬운 공정 제어 (process control) 를 갖춘 Crius II는 많은 나노 재료 생산에 귀중한 도구입니다.