판매용 중고 AIXTRON Crius II #293607523

AIXTRON Crius II는 AIXTRON 회사의 원자로이며, 고급 반도체 및 LED의 연구 및 개발을 위해 특별히 설계되었습니다. Crius II는 Dual-Substrate MOCVD, Single Wafer Showerhead 및 Gleeble Simulator의 3 가지 모듈의 시퀀스로, 사용자가 성장 및 증착 방법을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이중 기판 MOCVD 원자로는 사용자가 MBE (molecular beam epitaxy) 및 MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) 를 이용할 수있는 장비입니다. 이 시스템은 프로그램 가능한 밸브와 일련의 진공 펌프 (vacuum pump) 를 사용하여 더 높은 성장률, 비용을 줄이고 효율성을 높입니다. 이 원자로는 MBE, MOCVD 및 autoclave-assisted epitaxial 성장의 세 가지 방식으로 epitaxial 성장이 가능합니다. 원자로는 또한 모노 레이어, 멀티 레이어 및 3D 구조에 대해 최대 8 개의 소스로 구성 될 수 있습니다. 단일 웨이퍼 쇼어 헤드 (Single Wafer Showerhead) 를 사용하면 wi40afer 업데이트와 기판 변경 사이의 최소 다운타임과 함께 wafer 수준에서 고품질 재료 레이어를 배치할 수 있습니다. 특허를받은 회전 디스크는 수동 개입없이 웨이퍼 전체에 균일 한 예금을 허용합니다. 또한 글리블 시뮬레이터 (Gleeble Simulator) 는 온도 프로파일과 열 프로세스를 시뮬레이션할 수있는 기능을 제공하며, 변칙적인 프로세스를 자동으로 종료하는 데 도움이 됩니다. 시뮬레이터 (Simulator) 에는 압력 장치 (Pressure Unit) 가 장착되어 시스템 내 이벤트 처리 대기 및 모니터링을 제어할 수 있습니다. AIXTRON Crius II 플랫폼은 고급 반도체 및 LED 개발을 위해 다재다능하고 강력한 도구입니다. 반도체 산업 내 표준 도구가되었으며, 광범위한 연구, 개발, 생산 분야에서 사용되고 있습니다. 원자로는 안정적이고 비용 효율적이며, 사용자에게 높은 수준의 유연성을 제공합니다.