판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9383394

AIXTRON Crius 31x2는 상업용 규모의 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 세계 최고의 수직 2 인치 원자로 중 하나이며, 단일 웨이퍼 200mm 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 원자로는 반도체· 전자산업 첨단 장비 선두업체인 "AIXTRON '에 의해 제작됐다. Crius 31x2에는 분할 아크 유도 코일, 둥근 세라믹 도가니, 고정 양극성 RF 생성기 및 로드 락 웨이퍼 처리 시스템이 있습니다. 크리 우스 31x2 (Crius 31x2) 가 사용하는 유도 기술은 질화물 및 산화물의 증착을위한 뛰어난 균일 성을 제공한다. 라운드 세라믹 도가니 (round ceramic crucible) 는 또한 모노 및 멀티 레이어 웨이퍼에서 박막의 균일 한 증착을위한 향상된 열 균일성을 제공합니다. Crius 31x2에는 온도 조절 시스템과 컴퓨터 제어도 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 정확한 온도 조절이 가능하므로 최적의 균일성 (unifority) 및 강착 결과를 얻을 수 있습니다. 이 원자로의 압력 제어 (pressure control) 기능은 또한 수율 증가와 폐기물 감소를 가능하게한다. 또한, 원자로는 높은 수준의 자동화 (automation) 를 가지고 있으며, 이는 운영 프로세스를 단순화하고 보다 빠르고 정확한 웨이퍼 제작을 가능하게합니다. 크리우스 31x2 (Crius 31x2) 는 고급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 부식 및 기타 유형의 환경 위험에 매우 강합니다. 또한, 원자로는 우수한 열 단열재를 특징으로하여 에너지 소비를 최소화하고 효율성을 높입니다. 크리 우스 31x2 (Crius 31x2) 에는 최첨단 안전 (Crius 31x2) 기능이 장착되어 있어 원자로가 운영 관리 인원과 주변 환경에 안전합니다. 장비의 손상을 방지하고 인원의 안전을 보장하기 위해 전자처리용 보호용 도어 (Protection Door) 를 갖추고 있습니다. 또한, Crius 31x2는 더 긴 프로세스 실행으로 광범위한 응용 프로그램을 제공하도록 설계되었습니다. 더 두꺼운 재료에 높은 증착율 (high deposition rate) 을 도입하면 더 효율적인 제조 공정이 가능합니다. 또한, 원자로에는 훌륭한 공구 검사 능력이 장착되어 있어, 가동 중지 시간이 줄어들고, 기술적 문제를 진단하고 해결할 시간이 줄어듭니다. 전반적으로, AIXTRON Crius 31x2는 고급 금속 유기 화학 증기 증착 원자로로, 단일 및 멀티 레이어 웨이퍼에서 얇고 두꺼운 필름 제조에 다양한 이점을 제공합니다. 첨단 기술, 뛰어난 균일성, 고급 안전 기능, 자동화 기능을 통해 제조 프로세스를 단순화하고 생산성과 생산성을 높일 수 있습니다.