판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9364569

AIXTRON Crius 31x2"
제조사
AIXTRON
모델
Crius 31x2"
ID: 9364569
웨이퍼 크기: 2"-6"
MOCVD Systems, 2"-6".
AIXTRON Crius 31x2는 고성능, 비용 효율적인 장치 제작을 위해 특별히 맞춤형 고급 MBE ® Reactor 장비입니다. 이 원자로는 광범위한 광전자 (optoelectronic) 및 나노 (nano) 규모의 재료와 부품을 일관되게 생산하도록 설계되었습니다. Crius 31x2에는 효율적이고 성공적인 생산을 위해 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 최대 8 개의 부하로 구성된 대형 웨이퍼 보트 (wafer boat) 용량을 갖추고 있어 더 큰 품종의 생산이 빨라집니다. 2 단계 중간 압력 선박 및 조절 가능한 터보 펌프는 이중 모드 작동을 가능하게하여 씬 (thin) 및 후광 (thin-film) 장치의 생산을 용이하게합니다. 또한, 원자로의 크롬 내부 챔버 벽 (chrome inner chamber wall) 은 시스템 매개변수의 뛰어난 제거 효율성과 균일성을 보장하여 가능한 가장 높은 수율을 보장합니다. Crius 31x2는 시장에서 모든 MBE 원자로의 최고 품질 및 프로세스 유연성을 제공합니다. 고급 온도 관리 장치 (Advanced Temperature Management Unit) 는 우수한 열 안정성을 보장하며 온도 범위가 200한 ~ 1200한 C (CC) 인 정확한 온도 조절을 통해 구성 요소를 나노미터 척도로 안전하고 정확하게 제작할 수 있습니다. 원자로는 또한 가장 높은 안전 표준을 준수하도록 설계되었습니다. PLC 연결 프로세스 제어 시스템은 안전한 작동을 보장하기 위해 전류, 전압 및 온도를 측정하는 센서와 연결됩니다. 또한 Crius 31x2는 부하 잠금 장치, 챔버, 가스, 피드 유닛, RF 안테나 등 다양한 다양성 및 확장성 옵션을 제공하여 최고의 유연성을 제공합니다. 게다가, 원자로는 램프 업 시간을 최소화하면서 쉽게 설치하고, 빠르게 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 설치 시, 사용자는 소프트웨어 통합 원격 유지 보수에 의존하여 원자로 시스템 내에서 매개변수를 관찰, 관리, 조정할 수 있습니다. 전반적으로 AIXTRON Crius 31x2는 포괄적이고 신뢰할 수있는 MBE 원자로 도구로 설계되었습니다. 고급 기능 및 다양한 옵션을 통해 옵토일렉트로닉 (optoelectronic) 및 나노 스케일 (nano-scale) 장치 생산에 이상적인 선택이 가능합니다.
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