판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9353178

AIXTRON Crius 31x2는 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. LED (Light-Emitting Diode) 및 레이저 구조와 같은 고품질 광전자 재료의 산업 생산에 널리 활용되는 도구입니다. Crius 31x2는 최대 2 개의 서로 다른 III-V 재료 구조를 동시에 배치 할 수 있으며, 복잡한 다중 계층 이종 구조의 단일 웨이퍼 처리를 허용합니다. 원자로에는 로드 록 챔버, 확산 챔버, 반응 챔버 등 여러 가지 구성 요소가 있습니다. 로드 락 챔버는 기판 (예: GaAs 기판) 을 확산 챔버로 전달하는 데 사용됩니다. 확산 챔버 (diffusion chamber) 는 반응 챔버로 옮기기 전에 기질을 점차 예열하는 데 사용되는 용기입니다. 반응 챔버는 원자로의 주요 작동 환경입니다. 2 구역 온도 조절이 장착 된 쿼츠 반응 튜브 (quartz reaction tube) 로, 최대 2 개의 다른 재료 공정에 맞게 조정 될 수 있습니다. 크리 우스 31x2 (Crius 31x2) 에는 인시 투 (in-situ) 도량형 기능이 장착되어 있으며, 이는 필름 두께, 먼지 입자 및 기타 적절한 매개 변수를 비파괴적 방식으로 측정할 수 있습니다. 이를 통해 특정 재료 특성 (material properties) 에 대한 프로세스를 사용자 정의하거나 시간 효율적인 대량 생산을 보장할 수 있습니다. 또한, Crius의 "31x2" 명명법은 그것이 가진 독립 반응 공간 (IRS) 의 수를 나타냅니다. 두 개의 IRS와 함께 Crius는 두 개의 개별 반응을 동시에 배치 할 수 있습니다. Crius 31x2는 또한 신뢰할 수있는 재생 가능한 결과를 사용자에게 제공합니다. 대상의 재료를 빠르게 성장시키고, 계층별로 제어할 수 있도록 최적화된 자동화된 레시피를 제공합니다. 크리우스 31x2 (Crius 31x2) 공정 챔버에는 전용 가스 공급 매니 폴드 및 RF 발전기가 장착되어 있어 가스 흐름 및 공정 조건의 유연성이 향상됩니다. 원자로는 또한 -60 ° C ~ 700 ° C의 온도 범위로 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 전반적으로 AIXTRON Crius 31x2는 광학 반도체 및 레이저 부품의 산업 생산에 사용하기에 우수하고 신뢰할 수있는 MOCVD 원자로입니다. 다층 이종 구조 증착을 위한 탁월한 속도와 정확성을 제공하며, 재현이 가능하고 안정적인 결과를 위한 강력한 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 를 제공합니다.