판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9350512

AIXTRON Crius 31x2는 반도체 프로세싱을위한 독일 전문 장비 제조업체 인 AIXTRON GmbH가 설계 한 원자로입니다. Crius 31x2는 고급 반도체 및 광전자 재료를 생산하는 데 사용되는 고출력 석영 금속 유기 증기 상 에피 택시 (MOVPE) 장비입니다. 넓은 영역 기판의 증착을 가능하게하기 위해 수직 (vertical) 과 수평 (horizontal) 가스 흐름이 모두 특징입니다. 원자로는 높은 처리량, 낮은 열 구배, 낮은 기판 손상이 특징입니다. Crius 31x2에는 2 개의 동일한 배치 원자로가 있으며, 각각 1 개의 석영 성장실, 2 개의 개별 가스 전달 시스템 및 1 개의 석영 기판 보유자로 구성됩니다. 성장 챔버의 직경은 22cm, 길이는 90cm이며 최대 2 개의 4 인치 또는 3 개의 6 인치 직경 기판을 처리 할 수 있습니다. 성장 챔버에는 AIXTRON CDS500 Digital System Controller, CDS600 Advanced Process Controller 및 Vital-View3x 소프트웨어가 장착되어 있어 MOVPE 증가에 필요한 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. AIXTRON Crius 31x2는 다른 MOVPE 시스템보다 훨씬 높은 처리량으로 고급 재료를 고수율 증착할 수 있습니다. 이 "가스 '는 원자로 내 에 극히 낮은 열 구배 를 유지 하는 특수" 가스' 분배 장치 를 장착 하여 표면 과 기판 의 손상 을 감소 시킨다. AIXTRON Crius 31x2는 LED, 레이저, 광검출기 및 태양 전지를 포함한 고품질, 고성능 복합 반도체 재료 및 광전자 장치를 생산하는 데 성공적으로 사용되었습니다. 기계는 또한 유전체, 금속, 합금과 같은 얇은 필름의 증착에 사용되었습니다. 전반적으로 AIXTRON Crius 31x2는 고급적이고 신뢰할 수있는 MOVPE 원자로로, 광전자 장치 및 기타 고급 재료를 생산하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. 높은 처리량, 낮은 열 구배 (low thermal gradient) 및 낮은 기판 손상으로 인해 고품질의 고성능 재료를 생산할 수 있습니다.