판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #9169077

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제조사
AIXTRON
모델
Crius 31x2"
ID: 9169077
빈티지: 2008
System 2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2는 뛰어난 성능과 다재다능한 2 구역 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 특히 산업용으로 제식화되었으며, 그 분야에서 가장 발전된 원자로 중 하나입니다. 원자로는 물질 균일성 (material uniformity) 과 안정성 (stability) 측면에서 매우 높은 품질의 폴리머 필름을 만들 수 있으며, 반도체, OLED, 태양 광, 의료 임플란트 장치 등 다양한 산업 응용 분야에 관여하는 기업에게 귀중한 도구입니다. Crius 31x2에는 최대 950 ° C의 온도 범위를 가진 2 개의 처리 구역이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 각 영역의 다른 재료를 처리하여 다양한 필름을 제작할 수 있습니다 (영문). 4 채널 가스 공급 옵션을 특징으로하며, 동시에 최대 4 개의 가스를 전달 할 수 있으며, 직경 25cm 서셉터가 장착되어 있습니다. 원자로 (reactor) 는 감수체 표면을 가로 질러 고온 기울기로 매우 안정적이고 균일한 온도 분포를 제공합니다. 이 매우 정확한 제어는 내장 수직 빠른 가열/냉각 모듈에 의해 활성화됩니다. AIXTRON 특허 가스 혼합 디스플레이 시스템은 백만 분의 1 범위에서 가스 혼합물의 최적의 정확성을 보장합니다. 또한, Crius 31x2에는 가스 구성의 갑작스런 변화로 인한 필름 형성 과정의 장애를 방지하기 위해 miniFDC ™ (Fourier-domain multivariate Gas Controller) 가 장착되어 있습니다. 미니 FDC (MiniFDC) 는 최대 4 개의 가스로 구성된 최대 2 개의 독립적 인 제어 루프를 제공하며, 필름 형성 프로세스를 쉽고 정확하게 제어합니다. 원자로에는 또한 압력, 온도, 가스 혼합물 등 모든 매개변수를 추적 할 수있는 통합 모니터링 시스템 (integrated monitoring system) 이 있습니다. 이 모니터링 시스템은 또한 프로세스를 제어, 최적화하고 고품질의 최종 제품을 보장합니다. AIXTRON Crius 31x2는 광범위한 응용 분야를 갖춘 강력하고 고급 원자로이며 OLED, 반도체, 태양 전지 및 의료 임플란트와 같은 다양한 재료의 산업 생산에 이상적입니다. 뛰어난 균일성 (unifority) 과 안정성 (stability) 을 지닌 영화 제작을 위한 안정적이고 효율적인 플랫폼을 제공하므로, 사용자가 정밀도가 높은 품질의 제품을 만들 수 있습니다.
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