판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2 #293587446

AIXTRON Crius 31x2는 반도체 필름 및 기타 재료의 에피 택시 성장 및 증착을위한 3 구역 원자로입니다. AIXTRON CRIUS 31 X 2는 3 개의 구역으로 구성된 수평 냉벽 원자로입니다. 장비는 RF 또는 DC 전원을 사용하여 단일 또는 다중 소스 구성으로 작동합니다. 원자로 기능에는 고급 프로세스 제어 (process control) 기능이 있어 사용자가 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 크리 우스 31x2 (Crius 31x2) 는 적재량과 저온 진입실을 가지고 있으며, 안전한 대기에서 샘플을 적재 및 운송 할 수 있습니다. 또한, 로드 록 챔버 (loadlock chamber) 에는 소개 전에 기판을 사전 처리하기위한 오븐이 장착되어 있습니다. 좌우 소스에는 영역별 흐름 제어 (zone-by-zone flow control) 를위한 이동 가능한 실드가 장착되어 있으므로 다른 재료 필름에 대한 플럭스를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 원자로에는 수직 성장 지대 (vertical growth zone) 와 기판 반도체 보유자가 포함되어 있으며, 이는 정밀 작동 및 위치를 제공합니다. 기판 "홀더 '는 기질 을 360도 까지 회전 시킬 수 있어서, 균일 한 증착 및 성장 을 가능 하게 한다. 온도 조절 (Temperate Control) 은 기판 홀더 전체의 온도 균일성을 제공하는 결합 된 핫 월 (hot wall) 및 콜드 월 프로세스 난방 시스템을 사용하여 달성됩니다. 또한 CRIUS 31 X 2에는 온보드 광학 장치 및 분광계가 있습니다. 광학 기계 는 성장 과정 을 감시 하는 데 사용 되는 반면, 분광계 는 "필름 '의 질 과" 에너지' 의 "밴드갑 '을 분석 하는 데 사용 될 수 있다. AIXTRON Crius 31x2에는 30mTorr와 760 Torr 사이의 다양한 압력이 있습니다. 안전성 측면에서 AIXTRON CRIUS 31 X 2는 수동 및 프로그래밍 가능한 안전 인터 록 (interlock) 을 모두 기본으로 제공하므로 도구의 안전한 작동이 가능합니다. 또한 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 자산이 포함되어 운영 중 모델의 실시간 상태를 확인할 수 있습니다. 이 기능은 장비의 안전성을 높이고, 고급 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 제공합니다. 결론적으로, Crius 31x2 원자로는 고급 공정 제어, 로드 락 및 기판 홀더 기능을 사용하여 균일 한 증착과 성장을 제공하는 강력한 에피 택셜 성장 시스템입니다. 고급 광학 장치 (optical unit) 와 분광계 (spectrometer) 는 필름과 그 특성을 정확하게 분석 할 수 있습니다. 원자로에는 안전 연동 장치 (Safety Interlock) 와 원격 모니터링 (Remote Monitor) 이 포함되어 있어 안전성과 신뢰성을 더욱 향상시킵니다.