판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2 #293587445

AIXTRON Crius 31x2는 고급 III-V 화합물 반도체의 성장을위한 멀티 웨이퍼 MOVPE 금속 유기 증기 에피 택시 원자로입니다. 이 시스템은 이중 웨이퍼 서셉터 설계로, 높은 공정의 반복성과 균일성을 제공합니다. AIXTRON CRIUS 31 X 2는 최대 3 개의 서로 다른 분자원과 2 개의 개별 히터 세트를 수용하도록 설계되었으며, 둘 다 최대 수율과 결정 성장의 균일 성을 보장하기 위해 별도로 최적화되었습니다. 원자로에는 가스 믹싱 스테이션 (gas mixing station) 이 장착되어 있어 공정 매개변수를 정확하게 제어하고 종종 공정 설정 (process setup) 과 다른 재료 시스템에 대한 적응을 단순화 할 수 있습니다. 크리 우스 31x2 (Crius 31x2) 는 대기 및 저압 성장 과정에서 작동 할 수 있으며, 달성 될 수있는 증착 유형의 유연성을 제공합니다. 사용 가능한 온도 범위는 주변 섭씨 1000도이며, 최대 성장률은 시속 30 마이크로미터 (마이크로미터) 입니다. CRIUS 31 X 2는 고품질 III-V 복합 반도체 장치의 생산을 가능하게하는 매우 다재다능한 MOVPE 원자로입니다. 더블 웨이퍼 서셉터 디자인을 사용하면 도펀트 확산을 최소화하며, 대용량 시나리오에서 재현이 가능합니다. 가스 믹싱 스테이션 (gas mixing station) 이 제공하는 유연성 덕분에 복잡한 재료 시스템을 쉽게 생산할 수 있으므로 AIXTRON Crius 31x2는 오늘날의 최첨단 III-V 화합물 반도체 구조의 생산에 중요한 역할을합니다.