판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2 #293587442

제조사
AIXTRON
모델
Crius 31x2
ID: 293587442
빈티지: 2008
MOCVD System 2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2는 고급 전자, 광학 및 나노 규모의 필름 시스템을 생산하는 넓은 영역, 일괄 제작 된 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 복잡한 고품질 II-VI 화합물을 만드는 다용도 도구입니다. 다양한 성장 챔버 (Growth Chamber) 와 교환 가능한 컴포넌트 부품을 갖춘 독특한 고도로 모듈식 디자인이 특징입니다. 이 장비는 특히 차세대 화합물 반도체 재료의 개발 및 성장에 적합합니다. AIXTRON CRIUS 31 X 2 원자로는 다양한 전구체 재료 옵션을 지원하면서 배치당 최대 21 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 쉽게 구성할 수 있으며, 구성 요소 부품을 빠르고 편리하게 교체할 수 있습니다. 암자로 밀봉 된 성장실은 물질 오염을 제거하여 광범위한 실험 제어, 신뢰성 향상, 뛰어난 프로세스 일관성을 가능하게합니다. 이 시스템은 매우 정확한 화학 분배 및 온도 조절을 제공하도록 설계되었으며, 고급 저장 장치 (advanced storage unit) 는 전구체 증발 및 반응성 손실을 줄입니다. 원자로는 원자 층의 프로세스 유연성과 최적화 된 서브 미크론 증착을 제공하기 위해 특별히 설계되었으며, 이는 고순도, 나노 스케일 제품의 증착을 가능하게한다. 모듈 식 구성은 광범위한 성장 파라미터 (growth parameters) 와 열분해 레시피 (pyrolysis recipe) 를 가능하게하여 다양한 고도로 전문화 된 II-VI 화합물을 생성 할 수 있습니다. 크리 우스 31x2 (Crius 31x2) 는 또한 독특하고 고도의 고급 석영 소스를 특징으로하며, 이는 반복적이고 일관된 열 방사선 소스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 다양한 안전 (Safety) 및 환경 (Environmental) 기능 (하드웨어 격리 및 밸브 제한) 을 갖추고 있어 안정적인 운영 안전을 보장합니다. CRIUS 31 X 2 는 다양한 프로세스 최적화 방식을 지원하고 데이터 피드백 (feedback) 모니터링을 제공하여 증착 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 in-situ ellipsometers, reflectometers 및 quartz crystal microbalances와 같은 다양한 진단 도구를 통합하여 효율적이고 장기적인 프로세스 모니터링 및 최적화를 지원합니다. 전반적으로 AIXTRON Crius 31x2 원자로는 고품질 II-VI 화합물을 만드는 고급, 고도로 모듈식 및 다용도 도구입니다. 유연하고 신뢰할 수있는 디자인은 차세대 광전자 및 나노 물질 기술 개발에 이상적인 선택입니다.
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