판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2 #293587441

AIXTRON Crius 31x2는 낮은 비용으로 고품질 필름 레이어를 생산하도록 설계된 MOCVD (Low Pressure Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. 이 원자로는 복합 반도체 장치 생산에서 고체 조명 (solid-state lighting) 에 이르기까지 많은 응용 분야에 사용됩니다. AIXTRON CRIUS 31 X 2는 비교적 저렴한 비용으로 높은 성능을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. Crius 31x2는 단일 300mm 석영 서셉터 용량을 가진 3 구역 수직 원자로입니다. Varian 6100 소스로 구동되며 최대 웨이퍼 크기는 2.5 "입니다. 원자로에는 수평 가스 인젝터와 9 개의 가스 원도 포함됩니다. 총 작동 압력은 10T이며 최대 온도는 1300 ° C입니다. CRIUS 31 X 2는 고품질 장치 계층 및 에피 택시 구조를 생성 할 수 있습니다. 이 원자로에 주입 된 공정 가스는 HCl, 수소, 비소, 포스핀, 실란 및 암모니아를 포함한다. 이러한 가스는 반응하여 반도체 재료의 가스 상 반응을 형성하여 전자 및 광학 장치를 생성합니다. AIXTRON Crius 31x2에는 긴급 가스 차단 시스템 (Emergency Gas Shut-off System) 에서 필요한 경우 위험한 수소 가스를 발사하는 기능에 이르기까지 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한, AIXTRON CRIUS 31 X 2는 충돌 방지 (collision-avoidance) 기술을 특징으로하여 작동 중 수감기의 우발적 충돌을 방지하여 손상 가능성을 크게 줄입니다. 전반적으로 Crius 31x2는 경제적이고 고성능 안전한 MOCVD 원자로입니다. 저비용으로 품질 (quality) 장치 계층과 에피택시 (epitaxial) 구조를 생산하려는 사람들에게 이상적입니다. CRIUS 31 X 2는 복합 반도체 장치 생산에서 솔리드 스테이트 조명에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합한 옵션입니다.