판매용 중고 AIXTRON Crius 31x2" #293587440

AIXTRON Crius 31x2는 광전자 및 반도체 생산에서 광범위한 응용 분야를 위해 개발 된 고급 MOCVD 에피 택시 성장 원자로입니다. 이 원자로는 다양한 기질에서 고성능 박막 성장에 이상적이며, 두께, 도핑, 결정질 (crystalline quality) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 크리우스 31x2 (Crius 31x2) 에는 독특한 분할 포켓 3 구역 석영 원자로가 장착되어 있으며, 넓은 지역에 걸쳐 정확한 도펀트 분배가있는 고품질 필름을 제공합니다. 원자로는 스플릿 포켓 (split-pocket) 디자인의 31x2 인치 면적을 갖추고 있으며, 두 포켓의 성장 온도를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 각 포켓에는 최대 3.2kW 전력과 500 ~ 1,450 ° C의 온도 튜닝 범위를 가진 2 개의 고전력, 고속 응답 AC 저항 부하가 장착되어 있습니다. 또한, 이 원자로에는 2 개의 가변 온도 영역 (예열하고 기판을 형성하는 데 사용되는 상부 영역) 과 에피 택시 층 (epitaxial layers) 을 성장시키는 데 사용되는 하부 영역 (zone) 이 있습니다. Crius 31x2에는 제어 매개변수의 전체 실시간 제어를 위한 프로세스 제어 컴퓨터가 포함되어 있습니다. "AC '가열 원소 의 빠른 반응 을 통해 온도" 프로파일' 의 정확 한 조절 과 "필름 '내 의 도펀트' 농도 의 정확 한 조절 을 할 수 있다. 공정 제어 컴퓨터에는 자세한 레시피 및 데이터 분석을 위한 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 패키지가 장착되어 있습니다. 원자로에는 가스 조성을 자동으로 제어하는 최첨단 가스 펌프 (state-of-the-art gas pump) 구성이 장착되어 있어 도핑 수준이 정확한 최고 품질의 필름을 보장합니다. 또한 AIXTRON은 운영자의 개입 최소화, 설정 시간 단축, 증가율 최적화를 위한 고급 자동화 기능 (옵션) 을 제공합니다. 이 시스템에는 향상된 기판 로딩, 언로드 및 처리를 위한 내구성, 효과적인 웨이퍼 처리 시스템도 포함되어 있습니다. 크리우스 31x2 (Crius 31x2) 는 혁신적인 장치 응용 분야에 맞게 조정할 수있는 고품질의 균일 한 에피 택시 필름을 제공합니다. 온도 및 도펀트 농도에 대한 정확한 제어는 뛰어난 광전자 및 반도체 장치 성능을 보장합니다. AIXTRON Crius 31x2는 고유의 낮은 유지 보수 요구 사항, 긴 수명, 우수한 결과를 바탕으로 최첨단 장치 생산에 이상적인 선택입니다.