판매용 중고 AIXTRON AIX G5 HT #9123386

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AIXTRON AIX G5 HT
판매
제조사
AIXTRON
모델
AIX G5 HT
ID: 9123386
Reactors.
AIXTRON AIX G5 HT (AIXTRON AIX G5 HT) 는 최고 수준의 성능과 유연성을 갖춘 광학 및 디스플레이 산업을 공급하기 위해 특별히 설계된 고급 아트 증착 도구입니다. AIXTRON AIX G 5 HT는 사파이어, 질화 갈륨 및 실리콘 카바이드 (Silicon Carbide) 를 포함한 여러 기판을 업계에서 요구하는 가장 높은 두께 및 균일 성 사양으로 처리 할 수 있습니다. AIX G5 HT는 열 튜브 시스템 (hot wall deposition reactor) 으로, 기판의 자체 제한 표면 온도를 사용하여 표면의 층의 온도 및 강착 속도를 제어합니다. 이 투명하지 않은 증착 기술은 광범위한 재료에 걸쳐 정확한 레이어 두께를 제공 할 수 있습니다. 이동 보호 쿼츠 튜브 인테리어 (Traveling Protective Quartz Tube Interior) 를 통해 증착은 은밀하게 밀봉 된 환경에서 이루어지며, 난류 무료 공정, 우수한 열 분포 및 증착 특성의 재생산을 제공합니다. 원자로는 뛰어난 모듈성과 유연성을 제공하여 유지 보수 및 사용자 정의가 쉽고, 절연체, 유전체, 도체, 양자 점, 투명한 산화물, 질화물 등 다양한 박막 증착 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. AIX G 5 HT는 두께 균질성이 우수하고 순도가 99.99% 이상인 수동화 레이어를 성장시킬 수 있습니다. 매초 수백 개 의 "앵스트롬 '에 달하는 높은 증착율 은 고품질 제품 으로 빠른 주기 의 시간 을 가져온다. AIXTRON AIX G5 HT (AIXTRON AIX G5 HT) 는 UHV에서 대기 (atmospheric) 까지 압력 범위에서 작동하는 능력으로 인해 가장 기술적으로 까다로운 어플리케이션을 충족 할 수 있습니다. 이것은 공정 챔버에서 질소, 산소, 수소와 같은 가연성 또는 화합물 가스의 사용으로 인해 달성 될 수있다. 원자로는 또한 레이저 (laser) 또는 가열된 감지기 (susceptor) 를 사용하여 가공 전에 기판을 조절하는 능력을 갖는다. 원자로는 터치스크린 컴퓨터화된 사용자 인터페이스 (touchscreen computerized user interface) 를 사용하며, 강력한 그래픽 모델링 소프트웨어의 도움을 받아 연구원들이 프로세스를 최적화하고 더 쉬운 레시피를 만들 수 있습니다. 이 소프트웨어는 레시피 생성, 증착 프로세스 재생성 및 진단 (diagnostics) 과 같은 다양한 도구를 제공하여 증착 된 레이어의 높은 수확량과 반복 가능성을 보장합니다. AIXTRON AIX G 5 HT는 안전을 최우선으로 설계했습니다. 유해 "가스 '가 누출 될 경우 공정" 챔버' 의 자동 대피 와 같은 여러 가지 안전 기능 이 갖추어져 있다. 또한 가스 라인 (gas line) 에 대한 격리 밸브 (isolation valve) 가 특징이며, 비상 상황에서 가스의 흐름을 막아 프로세스 챔버 누출을 방지합니다. 결론적으로, AIX G5 HT는 광학 및 디스플레이 생산을위한 매우 향상된, 다용도, 안정적인 도구입니다. 최고 수준의 사양으로 뛰어난 품질의 박막 (Thin Film) 레이어를 생산할 수 있습니다. 원자로의 모듈성 (Modularity) 과 유연성 (Flexibility) 은 여러 프로세스에 이상적인 도구이며, 내장된 안전 (Safety) 기능을 통해 모든 제조 요구에 매우 안정적인 솔루션을 구축할 수 있습니다.
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