판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G5 #9315627

AIXTRON AIX 2800 G5
제조사
AIXTRON
모델
AIX 2800 G5
ID: 9315627
MOCVD System.
AIXTRON AIX 2800 G5는 고급 재료 생산에 고급 기술을 사용하는 원자로입니다. 독보적인 기술과 맞춤형 (customizable) 기능을 통해 고객의 구체적인 요구를 충족할 수 있습니다. AIX 2800 G5 는 대규모 제조를 위한 경제적이고 자동화된 솔루션을 원하는 고객에게 이상적인 제품입니다. AIXTRON AIX 2800 G5는 대규모 배치 모드 자동 MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. 모듈식 디자인이 특징이며 다양한 응용 프로그램이 가능합니다. 효율적이고 안정적인 프로세스 제어 장비 (process control equipment) 를 통해 다양한 기판에서 일관되고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 정확한 제어 및 반복 기능을 갖춘 AIX 2800 G5 는 여러 재료 증착 (deposition) 프로세스를 수행하는 데 이상적인 플랫폼입니다. AIXTRON AIX 2800 G5는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 일괄 처리 과정에서 각 기판에 모든 공정 기체의 견고하고 플럭스 (flux) 분포를 보장하는 맞춤형 소스 실린더 (source cylinder) 가 특징입니다. 정교한 프로세스 기술은 광범위한 프로세스 조합 (combination) 을 지원하므로 복잡한 박막 (thin-film) 장치를 만드는 데 적합합니다. 또한, 원자로에는 일관된 결과를 유지하기 위해 입자 및 기타 불순물을 들어오는 가스에서 걸러내는 고급 여과 시스템 (advanced filtration system) 이 있습니다. 이 단위 는 일련 의 "필터 '와" 스크러버' 로 이루어져 있어서 기계 가 원치 않는 입자 들 을 "나노미터 '크기 까지 걸러낼 수 있다. AIX 2800 G5 는 품질 제어를 위해 통합된 실시간 프로세스 모니터링 툴을 갖추고 있습니다. 여기에는 프로세스 불일치를 감지하고 빠른 코스 수정을 허용하는 패턴 인식 (Pattern Recognition) 자산이 포함됩니다. 또한, 원자로는 연속 모드 (continuous mode) 또는 반 연속 모드 (semi-continuous mode) 로 실행 할 수 있으며, 동시에 여러 웨이퍼에 연속 증착이 가능합니다. 디지털 프로세스 제어는 정확한 시간, 온도 제어, 우수한 프로세스 반복성을 보장합니다. AIXTRON AIX 2800 G5 (AIXTRON AIX 2800 G5) 는 효율적인 첨단 기술을 통해 품질과 정확도가 뛰어난 다양한 재료를 생산할 수 있습니다. 이러한 재료에는 반도체 등급 III-V 화합물 및 산화물, 고성능 폴리머 및 절연 게이트 장치가 포함됩니다. AIX 2800 G5 는 독점 기술로, 고객의 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있도록 맞춤형 부품을 생산할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800 G5는 모두 고급형 MOCVD 원자로로, 고급 재료를 효율적이고 안정적으로 생산할 수 있습니다. 첨단 기술과 맞춤형 (customizable) 기능을 통해 광범위한 어플리케이션을 위한 고품질 재료를 대규모로 제조할 수 있는 이상적인 솔루션입니다.
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