판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9384948

AIXTRON AIX 2800 G5 HT는 고품질 WGP (Wire Grid Polarizer) 및 기타 박막 기반 광학 부품을 제작할 수 있도록 설계된 생산 규모의 상용 증착 장비입니다. 최대 1000 ° C의 온도에서 III-V 물질의 화학 증기 증착 (CVD) 을 수행 할 수있는 고온, 하이브리드 도구이며 금속, 산화물, 안료 및 유전층의 직접 쓰기 전자 빔 증발을 수행 할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800G5 HT에는 고성능 3 레벨 퍼지 시스템, 고속 DC 전원 공급 장치 및 최대 4 개의 스핀들이 장착 된 고정밀 증착 헤드가 포함됩니다. 이 장치에는 AIXTRON 독점 페이스팅 블레이드 홀더 (faceting blade holder) 가 장착되어 있으며, WGP의 다각도 증착과 완제품의 증착 후 에칭 및 표면 연마 기능이 가능합니다. 이 기계는 또한 재료 로딩, 언로드 및 기판 간 전송을위한 완전 자동화, 매우 정밀, 로봇 암을 갖추고 있습니다. AIX 2800 G5 HT는 컴팩트하고 처리량이 높은 설계와 정교한 고급 제어 장치를 결합한 제품입니다. 사용자 인터페이스는 사용자 친화적이며, 편리하게 설치, 신속한 기판 배치 처리가 가능합니다. 이 툴에는 통합 데이터 수집/분석 제품군과 수동/완전 자동 레시피 관리를 위한 최첨단 자동 전원 제어 (Automated Power Control) 기능이 포함되어 있습니다. 강력한 진단 모듈을 통해 중요한 매개변수와 현장 결함 감지 (on-the-fly defect detection) 및 수정 (correction) 에 대한 완벽한 현장 모니터링이 가능합니다. 완전하게 자동화된 프로세스 전달 시스템은 정확하고 반복 가능한 박막 증착 프로세스 (Thin-Film Deposition Process), 그리고 다양한 재료와 응용 프로그램 특정 프로세스 조건에 걸쳐 빠른 튜닝 및 개발을 보장합니다. 이 고온, 정확하고 강력한 증착 자산은 AIX 2800G5 HT를 WGP와 같은 매우 높은 정확도의 광학 박막 코팅 어플리케이션 (예: 기타 많은 박막 집약적 어플리케이션) 에 적합한 툴로 만듭니다. 탁월한 제조 능력과 정밀한 자재 조작 기능으로 오늘날 시중에서 가장 정밀하고 광학적으로 정밀한 구성 요소 중 일부를 제작할 수 있게 해 주며, 이 모델은 고품질의 제품을 필요로 하는 박막 (Thin-film) 생산자에게 필수적입니다.