판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 TM #9381792

AIXTRON AIX 2800 G4 TM은 화합물 반도체 재료 생산을 위해 설계된 고급 원자로입니다. 이 고급 기계는 질화 갈륨 (GaN) 및 관련 재료의 생산을위한 혁신적인 공정의 연구 및 개발에 사용되며, 인화 인듐 (InP) 응용 분야를위한 세계 최고의 플랫폼입니다. AIX 2800 G4 TM에는 4개의 독립 프로세스 모듈이 포함된 모듈식 설계가 있습니다. 이들은 기판 전처리 모듈, Cruiser High-Flow III 모듈, Workpiece-Heating 모듈 및 Coater-Adjustable Concentricity and Uniformity (CAU) 모듈입니다. 기판 전처리 모듈 (Substrate Preprocessing module) 은 최대 600 ° C의 균일 한 기판 가열을 제공하며 기판을 사전 연결하여 최적의 필름 형성을 보장합니다. Cruiser High-Flow III 모듈은 균일성과 빠른 프로세스 기능을 제공합니다. 이 모듈은 웨이퍼를 정확하게 관리하고 전송하도록 설계되었습니다. Coater's Adjustable Concentricity and Uniformity 모듈은 여러 프로세스 단계에서 필름 두께를 정확하게 조절합니다. 이 모듈은 높은 가스 흐름 속도로 안정적이고 반복 가능한 박막 코팅을 수행 할 수 있습니다. AIX 2800 G4 는 다양한 프로세스 제어 기능 (예: 실시간 사용자 인터페이스) 을 통해 증착 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한 온도 및 압력 제어, 프로세스 자동화를 제공합니다. AIX 2800 G4 는 안전 (safety) 기능을 갖추고 있으며, 여기에는 단락 회로 보호 및 온도 조절 (over temperature control) 이 포함되어 있어 시장에서 가장 안전한 원자로 중 하나입니다. AIX 2800 G4 는 복잡한 재료를 생산하는 데 안정성과 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 정확성과 반복 기능을 제공합니다. III-V 화합물 생산에서 저온 금속성 화학 증기 증착 (MOCVD) 에 이르기까지 다양한 프로세스에 최적화되어 있습니다. AIX 2800 G4 는 최첨단 기술/기능 업그레이드와 연계된 유연한 기판 구성과 다양한 기능을 제공하며, 업계 생산의 요구 사항까지 확장하는 데 이상적입니다 (영문).