판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT #9135752

AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT 원자로는 고급 에피 택시 및 성장 응용 프로그램을위한 고성능, 신뢰할 수있는 원자로입니다. 프로세스의 시작 부분부터 완료까지 고급 제어 (Advanced Control), 정밀도 (Precision) 및 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델을 통해, AIXTRON (AIXTRON) 은 높은 수율과 최고 품질의 재료의 안정적인 생산으로 인해 현장에서 선두 주자로 자리 매김했습니다. AIX 2800 G4 ICHT 원자로 (ICHT Reactor) 는 정밀한 온도 조절과 높은 수준의 반복 가능성을 제공하는 다중 영역 (multi-zone) 장비입니다. 이 모델은 193 개의 프로세싱 챔버를 제공하여 더 큰 캐비닛과 더 빠른 로딩 시간을 허용합니다. 또한 통합 프로세스 제어 (process control) 및 데이터 획득 시스템 (data acquisition system) 을 통해 모든 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 고급 웨이퍼 처리, 도량형 및 웨이퍼 로드 언로드 기능도 지원합니다. 다재다능한 원자로 설계를 통해 금속 화학 증기 증착 (MOCVD) 기술을 사용할 수 있으며, 전체 기판 표면에 걸쳐 탁월한 균일성과 스텝 커버리지를 제공합니다. 이 모델은 또한 플라나라이제이션 (Planarization) 기술을 제공하여 추가 프로세싱 없이 생산할 수있는 복잡한 디바이스 아키텍처를 제공합니다. 난기판이 내장 된 경우, 결정 성장은 일관되고 균일하며, 심지어 큰 웨이퍼에서도 균일합니다. AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT Reactor는 고정밀 회전 드라이브와 카볼라이트 (carbolite) 공정 챔버로 설계되어 비활성, 안정적인 프로세스 환경을 제공합니다. 이 모델은 또한 EQCU (epitaxial quartz crystal unit) 를 특징으로하여 저압 프로세스 제어를 제공하여 비용 효율적이고 안정적인 프로세스 환경을 만듭니다. 원자로는 폐쇄 루프 안정화 머신 (closed-loop stabilization machine) 에서 작동하여 최고 수준의 공정 제어 및 정확성을 제공합니다. 전반적으로 AIX 2800 G4 ICHT Reactor는 탁월한 성능과 epitaxial 및 growth 애플리케이션의 생산성을 제공하는 고급 도구입니다. 193 개의 처리 실과 통합 제어 및 데이터 획득 자산을 제공하며, 정확한 온도 조절, 광범위한 프로세스 조건, 균일 한 결정 증가 등을 제공합니다. 고급 회전 드라이브 (rotational drive) 와 카볼라이트 공정 챔버 (carbolite process chamber) 를 갖춘 이 모델은 비활성, 안정적인 프로세스 환경을 제공하여 정확하고 비용 효율적인 성장을 제공합니다.