판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9386939
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AIXTRON AIX 2800 G4 HT는 필름의 에피 택시 및 증착을위한 일련의 공정을 가능하게하도록 특별히 설계된 증착 원자로입니다. 직접 드라이브, 다중 영역 선형 램프 구성으로, 높은 효율성과 높은 균일 한 조명을 제공합니다. 셔터 개방 시간이 불과 0.3 초인 고정밀, 저온 셔터 (shutter) 를 장착하여 성장률 및 프로세스 엔드포인트를 쉽게 전환 할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800G4-HT에는 수소 전달을위한 2 개의 가스 라인, 반응물을위한 1 개, 캐리어 가스 용 1 개가 있습니다. 다양한 유형의 박막 (thin film) 의 고품질 성장을 보장하기 위해 다양한 반응물을 제공합니다. AIX 2800G4 HT는 프로세스 온도의 정확한 조절을 위해 최첨단 열 컨트롤러 (state-of-the art thermal controller) 를 사용하여 최대의 프로세스 균일성과 제어를 보장합니다. 이 증착로 (deposition reactor) 는 안전하고 사용하기 쉬운 작동 기후를 제공하며 사용자의 안전을 극대화합니다. 원자로 실내에서 실시간으로 증착 과정을 시각적으로 모니터링하기 위해 임베디드 비주얼 프로세스 모니터링 시스템 (Embedded Visual Process Monitoring System) 이 장착되어 있습니다. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT에는 트리플 잠금 원격 차단 메커니즘이 있어 최고 안전 표준이 보장됩니다. AIX 2800 G 4 HT는 박막 증착 레이어에서 최대 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 고온에서도 고품질 필름을 증착 할 수있는 고급 백사이드 온도 모니터링 시스템 (backside temperature system) 이 특징입니다. 또한 매우 민감한 광학 방출 분광계 (Optical Emission Spectrometer) 가 제공되어 증착실에서 높은 빈도로 정확한 피드백을 제공하여 성장 속도 제어가 뛰어납니다. AIXTRON AIX 2800G4 HT에는 비용 효율적인 폐기 관리 시스템이 추가되어 있어, 다른 증착로에 비해 가능한 비용을 최소화할 수 있습니다. 이 원자로는 정확한 조성 균일성을 가진 고품질의 복잡한 박막 (thin film) 을 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 즉, 사용자에게 신뢰할 수 있고 재현가능한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 오늘날 최고의 증착로 (deposition reactor) 중 하나입니다.
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