판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9302603

AIXTRON의 AIXTRON AIX 2800 G4 HT 시리즈 원자로는 고온 프로세스를 사용하여 III-V 및 그룹 III-V 화합물, 금속 및 이완과 같은 박막 재료를 증착합니다. 고품질 증착층 계층, 매우 정확한 프로세스 제어, 낮은 유지 관리, 프로세스 유발 진동에 대한 면역성, 매우 높은 증착률을 결합합니다. 이를 통해 AIXTRON AIX 2800G4-HT 시리즈 원자로는 고급 반도체 및 광전자 장치 생산에서 고출력 프로세스에 최적화되었습니다. AIX 2800G4 HT 시리즈 원자로는 프로세스 자동화, 강력한 프로세스 제어 기능 및 고속 EFEM 제어를 갖추고 있습니다. 원자로는 또한 고출력, 매우 낮은 공정 온도, 넓은 면적 증착, 타의 추종을 불허하는 공간 해상도의 독특한 조합을 제공합니다. 즉, 빠른 시간 내에 높은 처리량을 필요로 하는 애플리케이션이나 획일성 (unifority) 및 결함이 없는 (defect-free) 증가를 위한 엄격한 요구 사항을 지닌 애플리케이션에 적합합니다. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT 시리즈는 0.255 인치 높이의 2.8 인치 직경의 도가니 및 서셉터를 특징으로합니다. 이를 통해 원자로는 정확성과 균일성으로 층을 퇴적시킬 수 있습니다. 또한 ECM 제어 장비 (ECM Control Equipment) 는 고도의 정확성과 반복성을 갖춘 균일한 용광로 온도를 제공하는 핫 월 퍼니스 (hot-wall furnace) 설계를 갖추고 있습니다. 원자로는 또한 고품질 증착을 위해 독특하고 신중하게 설계된 이중 가스 제어 시스템을 사용합니다. 이중 가스 제어 장치의 주요 특징으로는 고 가스 공급 안정성, 고속 가스 활성화, 초과 가스 자체 청소, 실시간 프로세스 매개변수 모니터링/제어 기능 등이 있습니다. 이 최첨단 원자로는 향상된 성능 및 안전 기능도 제공합니다. 이 제품은 운영 중 프로세스 안전성을 보장하고 다운타임을 줄여주는 혁신적인 비활성 가스 캐스케이드 머신 (inert gas cascade machine) 과 함께 제공됩니다. 또한 인공지능 기반 데이터 분석, 프로세스 모니터링 (monitoring) 기능을 통해 프로세스 제어 및 최적화를 개선할 수 있습니다. AIX 2800 G4 HT 시리즈 (HT 시리즈) 원자로는 처리량과 매개변수가 높은 고급 장치를 확장하기 위한 완벽한 도구입니다. 자동화되고 정확한 제어, 안전 기능, 대용량 증착 기능 등과 더불어 최고의 성능을 제공합니다 (영문).