판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9272506

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제조사
AIXTRON
모델
AIX 2800 G4 HT
ID: 9272506
빈티지: 2008
MOCVD System In-situ tool ES-A25 Dry pump Size: 42"x2" (6-6) Manuals Gases: Gas / Source / Push NH3_1 / 30000 / 500 NH3_2 / 30000 / 500 SiH4_l / 100 / 500 SiH4_2 / - / - TMGa / 1000 / 500 TMAI / 500 / 500 Cp2Mg / 1000 / 500 TMIn / 1000 / 500 TEGa / 1000 / 500 2008 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT는 고품질 반도체 재료의 생산을 촉진하는 고온 화학 증기 증착 (HT-CVD) 원자로입니다. 고온 조건에서 작업할 수 있으므로 AIXTRON AIX 2800G4-HT는 광범위한 미션 크리티컬 연구 및 프로젝트에 이상적입니다. AIX 2800G4 HT는 실리콘, 실리콘 질화물, 유전체 및 전구체를 함유하는 탄소의 성장 매체와 관련된 증착 과정을 위해 설계된 고급 장비입니다. 열역학적 (thermodynamic) 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 기능을 제공하여 표준 연구 작업 (standard research task) 과 특수 생산 요구사항 (specialized production requirements) 모두에 적합합니다. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT에는 고급 자동 샘플링 시스템이 장착되어 있어 결과를 얻는 데 필요한 시간과 노력을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 기존 및 디지털 처리 제어 (Digital Processing Control) 와 고급 CCD 기반 플라즈마 소스 레벨 (PSL) 이미징 머신을 결합합니다. 이 강력한 조합은 사용자가 키 배치 매개변수를 제어할 수 있는 최상의 제어 기능을 제공합니다. AIX 2800G4-HT는 모듈 식 및 고급 자동화 장비를 모두 포함하는 독립형 원자로입니다. 한 번에 여러 웨이퍼에서 효율적이고 일관된 증착 시간을 허용하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 각 기판 테이블 및 Bernoulli 엔드 포인트에 대해 독립적 인 제어를 사용할 수 있습니다. 이 기능은 높은 수준의 제품 품질을 달성하는 데 중요합니다. AIX 2800 G 4 HT는 터치 스크린을 통해 손쉽게 관리할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 공구를 탐색하고 각 증착에 대한 매개변수를 사용자 친화적 인 경험으로 설정할 수 있습니다. 대형 10.1 "LCD 화면은 프로세스 상태와 실시간 그래프를 모두 표시하여 가시성을 향상시킬 수 있습니다. 마지막으로, AIX 2800 G4 HT에는 사고 또는 환경 위험을 방지하기 위해 고급 안전 자산이 제공됩니다. 원자로는 물리적 접촉 및 위험한 초과 온도로부터 보호를 제공합니다. 또한, 자체 폐쇄 챔버 (self-closing chamber) 는 증착 과정에서 방출 된 유해 가스를 제거하도록 설계되었습니다. 결론적으로, AIXTRON AIX 2800G4 HT는 다양한 고품질 반도체 재료를 생산하도록 설계된 인상적인 모델입니다. 간편한 탐색 (naviagate) 방식이며 수많은 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있어 연구/생산 응용프로그램을 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다.
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