판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9256418

AIXTRON AIX 2800 G4 HT는 반도체 에피 택시 분야에서 주로 사용되는 최첨단 원자로 장비입니다. 이 시스템은 넓은 영역의 성장을 수행할 수 있으며, 작은 크기의 풀 칩 CMOS (full-chip CMOS) 및 광전자 (optoelectronic) 장치를 생산할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800G4-HT는 더 낮은 프리 히터, 고온 성장 챔버 및 열 교환기로 구성된 3 구역 디자인의 수평 고 처리량 쇼 헤드 원자로입니다. 고온증가실에서는 고온· 저기압을 정밀하게 유지· 제어할 수 있다. 고 처리량 샤워 헤드 (high-throughput showerhead) 는 열분해 튜브로부터 균일 한 가스 흐름 속도와 우수한 가스 균일성을 보장하며, 챔버 오염을 줄이고 기존 시스템보다 입자를 적게 생성하도록 설계되었습니다. AIX 2800G4 HT에는 견고한 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 시스템 (monitor system) 이 장착되어 있어 레이어 두께를 정확하게 제어하고 레이어 구성과 관련된 매개변수에 대한 자세한 피드백을 제공합니다. 현장 분석 시스템 (in-situ analysis systems) 은 성장 과정에서 결정 격자 구조와 레이어 조성에 대한 실시간 정보를 제공합니다. AIX 2800 G 4 HT는 균일 한 증착을위한 쇼어 헤드, 최대 섭씨 1100 도의 온도 범위, 2 단계 플랫폼 리프트 및 자동 기판 교환 메커니즘을 포함하여 기판을 제어하기위한 다양한 옵션을 제공합니다. 최대 효율성을 위해 기판 슬라이드에는 최대 1045 도의 온도 범위를 가진 RTP (Rapid Thermal Processing) 옵션이 있습니다. AIXTRON AIX 2800G4 HT는 운영 애플리케이션에 적합한 강력하고 안정적인 장치입니다. 이 기계는 품질과 재현성이 뛰어난 다양한 재료를 생산할 수 있으며, 대용량 반도체 제조 공정 (MVP) 에 이상적인 제품입니다. 사용자 친화적인 제어 툴 (Control Tool) 을 통해 사용자는 성장 (Growth) 실행 매개변수를 손쉽게 조정하고 모니터링하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT에는 인터 록 (interlock), 경보 및 내장 안전 기판 보유자와 같은 신뢰할 수있는 작동을위한 광범위한 안전 기능이 장착되어 있습니다.