판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9248637

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제조사
AIXTRON
모델
AIX 2800 G4 HT
ID: 9248637
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2011
MOCVD Systems, 4" GaN Based LED In-situ monitoring: EpiCurve TT Strain management for large diameter substrates 42x2" Configuration: 400 mbar Growth for bulk GaN 11x4" Configuration: Wafer bowing effect In-situ metrology: EpiCurve TT analysis 6x6" Configuration: Wafer bowing effect In-situ metrology: EpiCurve TT analysis Strain relaxation layer 2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT는 화학 증기 증착 (CVD) 을위한 고 처리량 원자로입니다. 매우 효율적이고 정확한 CVD 장비를 찾는 연구원들에게는 매력적인 선택입니다. 원자로는 간단하고 쉽게 사용할 수 있도록 설계되었으며, 필수적인 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있어 운용에 안전합니다. 또한 산화알루미늄 에칭 서셉터, 파라미터 원격 모니터링, 연속 작동에 적합한 자동 로드 잠금 시스템 (Automated Load Lock System) 이 특징입니다. AIXTRON AIX 2800G4-HT는 다양한 기판을 생산하도록 설계되었습니다. 12 인치 x 12 인치 (12 인치 x 12 인치) 의 비교적 넓은 운영 영역으로 대규모 생산 실행에 적합합니다. 이 장치에는 세라믹 바닥과 각 서셉터에 대한 독립적 인 온도 설정이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 증착 속도 가 더 높고, 필름 준비 를 더 잘 제어 하며, 재료 를 고르게 분배 할 수 있다. 원자로에는 가공소재 적재 및 통합을 위해 빠르게 움직이는 웨이퍼 트랜스퍼 머신 (wafer transfer machine) 이 추가로 장착되어 있습니다. 이동 과정은 주변 환경에서 수행되며 먼지 (dust free) 가 없습니다. 이를 통해 증착 품질 향상 (Enhanced deposition quality) 및 프로세스 조건에 대한 확실한 제어가 가능합니다. 또한, AIX 2800G4 HT에는 반응성 가스 재료를 쉽고 안전하게 처리 할 수있는 다양한 옵션의 버블러 병 (bubbler bottle) 및 흐름 컨트롤러 (flow controller) 가 장착 된 고효율 가스 전달 도구가 포함되어 있습니다. AIX 2800G4-HT는 강력하고 정확한 CVD 원자로입니다. 절연 된 챔버와 견고한 구조는 우수한 온도 조절을 제공합니다. 자동화된 로드 잠금 (load-lock) 자산을 통해 빠르고 지속적인 운영을 수행할 수 있으며, 210 ~ 220V 의 다양한 전원 공급 옵션을 통해 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 기온 균일성 (good temperature uniformity), 고효율 가스 전달 모델 (high-efficient gas delivery model) 과 같은 기술적 기능이 장착되어 있어 박막과 나노 구조의 빠르고 정확한 생산에 이상적입니다.
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