판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9232215

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제조사
AIXTRON
모델
AIX 2800 G4 HT
ID: 9232215
빈티지: 2010
System 2010 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT는 고성능 광전자 장치 생산을위한 초음속 멀티 웨이퍼 MOCVD (금속 유기 화학 증기 증착) 원자로입니다. 8 와퍼/배치의 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며 최대 200mm 직경 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800G4-HT는 고정밀 (high-precision) 컴포넌트로 제작되었으며 레이어 증가의 균일성과 반복성을 보장하는 프로세스 매개변수를 제공합니다. 고온, 가열 서셉터, 펠티에 냉각 (Peltier cooling) 및 이동식 웨이퍼 보트가 장착되어 있어 온도, SiH4 에칭 속도 및 기타 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 따라서 다운타임이 최소화되고 생산량이 최대화되어 높은 수준의 처리량을 확보할 수 있습니다. AIX 2800G4 HT의 기능은 광전자 필름 제작에 다양한 이점을 제공합니다. 고온 감수기 및 펠티어 냉각기 (Peltier cooling) 는 원자로가 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 이는 뛰어난 결정성을 가진 얇은 층의 형성을 가능하게한다. 따라서 성능 특성 (예: 매개 변수 향상, 장치 안정성 향상) 이 뛰어난 장치가 생성됩니다. 또한 AIX 2800G4-HT에는 AIXTRON UFP (Ultra-Fine Processing) 기술이 적용되어 프로세스 매개 변수가 가장 정밀도 높은 수준으로 유지되고, 반복성과 수익성을 보장합니다. 이렇게 하면 높은 처리량과 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 보장할 수 있습니다. 효과적인 유지 관리를 위해 AIXTRON AIX 2800 G 4 HT에는 가스 흐름, 온도, 압력 및 기타 중요한 매개변수를 감지하는 장애 모니터링 시스템이 있습니다. 수집된 데이터는 원격으로 액세스할 수 있는 데이터베이스 (database) 에 저장되므로 각 기판의 품질을 최적화할 수 있습니다. AIXTRON AIX 2800G4 HT는 일관된 결과, 고출력, 뛰어난 신뢰성을 제공하는 고성능 필름 생산을위한 뛰어난 광전자 원자로입니다. 광전자 응용 프로그램의 연구 또는 생산 요구를 충족시키기 위해 고급 기술을 제공합니다.
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