판매용 중고 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9226650

AIXTRON AIX 2800 G4 HT는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 재료 생산에 사용되도록 설계된 상업용 증착 원자로입니다. AIXTRON AIX 2800G4-HT는 고온 증착 원자로이며, 이는 최대 1000 ° C의 온도에서 작동 할 수 있음을 의미합니다. AIX 2800G4 HT 는 고급 설계를 통해 증착 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 재료 성장은 2 차원 직사각형 원자로 챔버에서 발생합니다. 챔버에는 증착 과정을위한 4 개의 개별 소스가 장착되어 있습니다. AIXTRON AIX 2800G4 HT는 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD) 및 분자 빔 에피 택시 (MBE) 를 포함한 광범위한 증착 기술을 가능하게합니다. 성능 매개 변수 측면에서 AIX 2800 G4 HT는 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 방사선 범위 (wide radiation range) 와 균일 한 증착율을 갖춘 고급 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 최대 기판 크기는 95mm입니다. 챔버는 +/-3% 의 방사형 및 축 균일성으로 설계되었습니다. 원자로의 압력은 일관된 강착 속도를 달성하기 위해 조정 될 수있다. AIX 2800 G 4 HT는 고온에 노출되지 않는 안전 셔터 (Safety Shutter) 와 심각한 문제가 발생할 경우 긴급 차단 시스템 (Emergency Shut-off System) 을 포함하여 여러 가지 안전 기능으로 구성됩니다. 이 시스템은 또한 구성 요소의 최적의 작동을 보장하기 위해 충분한 환기 (ventilation) 및 여과로 설계되었습니다. AIX 2800G4-HT는 전자 업계에서 광범위한 애플리케이션을 보유하고 있습니다. 여기에는 박막 트랜지스터, 전기 화학 커패시터, 전계 효과 트랜지스터, 집적 회로 및 평면 패널 디스플레이 등이 포함됩니다. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT는 산업 제조 응용을위한 효율적이고 안정적인 증착로입니다.