판매용 중고 AIXTRON AIX 2600 G3 #9393354

AIXTRON AIX 2600 G3는 연구 및 개발 활동에 사용되는 고성능 에피 택시 원자로입니다. 고온어닐링 (high temperature annealing), in situ silicidation, ultra thin layer deposition 등 다양한 재료와 공정을 처리 할 수있는 다재다능한 장비입니다. 이 시스템은 대상 장치 성능을 달성하기 위해 종종 필요한 기판 크기 (Substrate size), 온도 제어 (Temperature Control) 및 반복 (Repeatability) 의 일반적인 요구를 충족하도록 설계되었습니다. AIXTRON AIX 2600G3는 저압 (< 10 mbar) 및 저온 (< 250 ° C) 작업뿐만 아니라 고압 (> 10 mbar) 및 고온 (> 1000 ° C) 작업으로도 작동 할 수 있습니다. 신뢰할 수있는 프로세스 제어 및 최적화. 고급 온도 및 흐름 제어 장치 (Advanced temperate and flow control unit) 는 손상되지 않은 베이스 레이어의 균일한 epitaxy를 보장하며, 기계는 최대 재료 사용률과 처리량을 위해 높은 정확도 위치를 제공합니다. AIX 2600 G3 는 강력한 터치스크린 컨트롤러로, 직관적인 사용자 인터페이스 및 프로세스 매개변수 (예: 압력, 온도, 흐름) 를 실시간으로 모니터링합니다. 이렇게 하면 사용자가 프로세스를 완전히 제어할 수 있고, 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 장비에는 과열 (over-temperature) 인터 록 (interlock) 과 역방향 가열 (reverse-heated) 존 센서 (zone sensor) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 인원과 재료의 안전을 보장합니다. AIX 2600G3 는 장기적인 안정성, 성능, 낮은 유지 관리 비용, 높은 수준의 프로세스 제어에 중점을 두고 설계되었습니다. 박막 증착, 어닐링 (annealing), 도핑 프로세스 (doping process) 와 같은 기판 기반 epitaxial 프로세스의 연구 및 개발에 이상적인 다목적 고성능 도구입니다. 또한 cavitation, electron-beam 및 ion implantation 프로세스와 같은 고급 응용 프로그램에도 적합합니다.