판매용 중고 AIXTRON AIX 2600 G3 HT #9359365

AIXTRON AIX 2600 G3 HT는 다양한 OLED (organic light-emitting diode) 재료를 제조하기위한 중요한 구성 요소입니다. 이 임계 원자로는 혁신적인 하이브리드 마이크로파/핫 월 (hybrid microwave/hot-wall) 기술을 사용하여 탁월한 기능을 제공합니다. 이 기술을 통해 최대 600 ° C의 고온 어닐링 (annealing) 과 매우 낮고 높은 열 예산으로 재료 생산이 가능합니다. AIX 2600 G3 HT는 같은 챔버에 Hot Wall, Hot Source 및 Microwave 처리를 결합한 Hybrid Technology로 인해 고급 장비입니다. 이 시스템은 3 개의 독립적 인 프로세스 영역을 사용하여 정확한 온도 및 프로세스 제어를 제공합니다. 이 영역은 OLED 재료 생산에서 가장 중요한 세 가지 측면 인 Substrate Preparation, Material Deposition 및 Annealing을 나타냅니다. 이 영역은 3 개의 독립 창으로 나눌 수 있으며, 열 예산과 특성이 다른 재료를 생산하는 데 사용됩니다. AIXTRON AIX 2600 G3 HT는 닫힌 루프 온도 제어를 사용하여 단단한 프로세스 제어 루프를 제공합니다. CLTC (Closed-Loop Temperature Control) 를 사용하여 프로세스의 각 단계에서 연산자가 설정한 대로 오른쪽 열 프로파일을 정확히 확인합니다. AIX 2600 G3 HT는 또한 VWW (Vacuum Wafer Warping) 를 사용하여 생산 과정에서 웨이퍼의 자연적인 워핑을 보상합니다. AIXTRON AIX 2600 G3 HT는 실리콘 카바이드 (SiC) 난방 요소와 2 개의 강력한 냉각 팬을 포함하는 잘 설계된 칠러 챔버로 인해 어닐링 프로세스에서 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이것은 기판 크기나 두께, 기판 견고성 (substrate ruggedness) 또는 공정의 복잡성에 관계없이 전체 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 전체에 걸쳐 매우 균일한 온도 프로파일을 제공합니다. 또한 AIX 2600 G3 HT는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로 인해 사용자 친화적이며 작동이 용이합니다. 이 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 인체 공학적 의자의 편안함으로부터 시스템을 작동시키고 전체 프로세스를 모니터링하는 데 필요한 모든 정보를 제공합니다. AIXTRON AIX 2600 G3 HT는 OLED 생산을 위한 안정적이고 강력한 도구입니다. 하이브리드 (hybrid) 기술은 뛰어난 온도 및 프로세스 제어와 뛰어난 균일성을 제공합니다. 강력한 기술과 결합된 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 는 다양한 OLED 재료를 제조하는 통합 솔루션입니다.