판매용 중고 AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O #9352626

AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O는 고급 광전자 재료 구조의 개발을 위해 초박막 성장을 위해 설계된 고급 분자빔 에피 택시 (MBE) 원자로입니다. 최신 AIXTRON 성장 기술을 활용하여 업계에서 가장 강력하고 효율적인 MBE 원자로 중 하나입니다. 이 고급 MBE 원자로는 다양한 저차원 전자 및 광전자 (optoelectronic) 재료를 성장시킬 수 있으며, 다양한 분야에서 수많은 응용 분야를 보유하고 있습니다. AIX 2600 G3 HT-O는 성장 챔버, 전송 챔버 및 로드 락으로 구성된 독특한 트리플 챔버 디자인으로 제작되었습니다. 성장 챔버 (Growth Chamber) 는 독립적으로 가열되고 가압되어 성장 과정 전반에 걸쳐 정밀한 열 및 압력 조절이 가능합니다. 여기에는 Carbon, Nitrogen, Gallium, Indium 및 Aluminum과 석영 결정 발진기를 포함하여 여러 MBE 소스가 있습니다. 고진공 연동 장비 (high-vacuum interlock equipment) 에 의해 성장 챔버와 연결된 전이실 (transfer chamber) 은 성장 및 하중 잠금 챔버 사이의 샘플을 전환하는 역할을 수행합니다. 로드 락 챔버 (load lock chamber) 는 샘플 로딩 및 언로드를 위해 설계되었으며, 기판에는 1 개, 참조 결정에는 1 개의 샘플 홀더가 있습니다. AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O는 특허받은 데가 기술, 멀티 존 또는 "영역 별" 난방 시스템 및 고급 이온 빔 스퍼터링과 같은 고급 AIXTRON 기술을 사용합니다. 드가 스 (degas) 기술은 미량 오염이 전혀 없는 매우 깨끗한 재료를 제공하는 성장 챔버에서 1x10-2mbar의 압력을 만듭니다. 다중 영역 난방 장치 (multi-zone heating unit) 는 챔버 전체에서 열을 보다 효율적으로 전달하는 데 사용되며 특정 영역으로 프로그래밍 될 수 있습니다. 고급 이온 빔 스퍼터링 (IBS) 소스는 사실상 모든 재료의 매우 얇은 필름을 증착 할 수 있으며 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 손상을 제한하도록 특별히 설계되었습니다. AIX 2600 G3 HT-O의 다른 기능으로는 고 진공 터보 펌프, 하중 잠금 및 전송 챔버, 누수 탐지기 및 셔틀 밸브가 있습니다. 높은 진공 터보 펌프 (vacuum turbo pump) 는 성장과 전이실 사이의 공기와 하중 잠금 (load lock) 및 전이실 (transfer chamber) 사이의 공기를 신속하게 대피시킵니다. 누수 감지 도구는 자산 내에서 가스 누출 가능성을 모니터링합니다. 마지막으로, 셔틀 밸브는 자외선 광전자 분광학 및 스캐닝 전자 현미경 분석 (scanning electron microscopy analysis) 과 같은 모델 내에서 분석 실험을 수행하는 데 사용됩니다. 전반적으로 AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O는 현재 사용 가능한 가장 고급 MBE 원자로 중 하나입니다. "나노 '구조 의 탐구 와 고도 의 광전자 물질 구조 의 개발 을 위한 이상적 인 도구 로서, 고도 의 성장 기술 과 결합 된" 온도' 및 압력 조절 능력 이 있다.