판매용 중고 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9377347

AIXTRON AIX 2400 G3 HTL은 업계 최고의 고온 금속 무기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 원자로는 2 구역 구성, 고온 작동 및 ARMS (Advanced Reactor Monitoring System) 를 특징으로합니다. 최대 1000 ° C의 온도에서 고품질 재료의 빠른 성장률을 제공합니다. 원자로는 8 개의 독립적으로 작동하는 공정 구역과 재료 또는 다중 구역 증착을위한 더 높은 용량을 갖추고 있습니다. 자동 압력 및 피드 가스 기술로 고급 온도 및 성장률 제어를 제공합니다. 이 장치에는 기판 표면에서 균일 한 성장을 유지하기 위해 첨부 된 샤워 헤드 (showerhead) 가 장착되어 있습니다. 특허받은 HTL 열 전달 시스템 (HAT Heat Transfer System) 과 고급 온도 조절이 가능한 쿼츠 튜브 퍼니스 (Quartz Tube Furnace) 와 온도 안정성과 균일성을 유지하기 위해 활성 플러싱 시스템 (Flushing System) 을 사용하여 각 프로세스 영역의 온도를 정확하게 제어합니다. 또한, 이 장치에는 가스 캐비닛 (gas cabinet) 과 독립 전원 공급 장치 (power supply) 가 장착되어 8 개 공정 구역 각각에 적절한 가스 공급을 보장합니다. ARMS 는 온디맨드 (on-demand) 증가율 데이터를 제공하는 통합 제어, 모니터링 및 기록 장치입니다. 이 소프트웨어는 비정상적인 프로세스 동작의 경우 미리 프로그래밍된 알람 (alarm) 설정으로 실시간으로 실행할 수 있습니다. 또한, 8 개의 프로세스 영역 각각에 대한 내부 압력 매개변수 (inner pressure parameters) 를 설정하는 데 있어 가장 높은 정도의 프로세스 제어 및 정확성을 제공합니다. AIX 2400 G3 HTL은 까다로운 어플리케이션을 위한 강력하고, 다양하며, 신뢰할 수 있는 원자로입니다. 리서치 및 프로덕션 응용 모두에 적합하며, 탁월한 성능을 제공합니다. 또한, 고급 프로세스 제어 시스템 (process control systems) 을 사용하여 증가율 및 수익률을 최적화하는 것도 효율적입니다. 이 제품은 고온 증착 기능이 필요한 모든 어플리케이션에 적합한 제품입니다.