판매용 중고 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9300885

AIXTRON AIX 2400 G3 HTL은 고급 재료의 고 처리량 증착을위한 최첨단 OMCVD (Organometallic Chemical Vapor Deposition) 원자로 장비입니다. 즉, 낮은 사용량과 최소한의 다운타임 요구 사항으로 인해 높은 안정성과 낮은 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 원자로는 오픈 챔버 원자로, 핫 월 쿼츠 원자로, 6 방향 중심 장치, 컴퓨터 제어 재료 도입 시스템 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 또한 AIX 2400 G3 HTL에는 전원 공급 장치, 안전 시스템 및 고진공 시스템이 포함됩니다. AIXTRON AIX 2400 G3 HTL 내의 오픈 챔버 (open-chamber) 원자로는 200-1000 mL의 선박 용량으로 작동하도록 설계되었으며 스테인리스 스틸로 구성되어 부식 내성이 뛰어나고 장기 내구성이 뛰어납니다. 이 원자로는 또한 핫 월 쿼츠 (hot-wall quartz) 기술을 사용하며, 이는 증착층 생산의 품질과 균일성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 6 방향 중심 장치는 정확한 웨이퍼 위치 제어를 위해 쉽게 배치하고 설정할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 전반적인 생산이 더욱 효율적이며, 운영 프로세스의 일관성과 반복성이 향상됩니다. 오픈 챔버 원자로 외에도 AIX 2400 G3 HTL에는 재료 소개 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 소스 재료를 챔버에 안전하게 공급하도록 설계되었습니다. 재료 소개 도구 (Material Introduction Tool) 는 흐름 제어기 및 열전대 (thermocouple) 와 함께 가열 석영 (crucible) 을 사용하여 설계되어 흐름, 온도 및 압력을 정확하게 제어할 수 있습니다. 컴퓨터 제어 재료 도입 자산 (computer-controlled material introduction asset) 은 증착 과정 전반에 걸쳐 높은 정확도를 제공하여 오류 가능성을 줄입니다. AIXTRON AIX 2400 G3 HTL에는 전원 공급 장치 및 추가 안전 시스템 (통합 가스 경고 모델, 산화 최소화를 위한 비활성 가스 제거, 긴급 종료 및 환기 절차, 실시간 저급 품질 보증 피드백, 다양한 프로세스 모니터링 도구) 도 포함됩니다. 원자로에는 생산 정확성 향상을 위해 0.001mbar (0.001mbar) 의 낮은 농도에 도달 할 수있는 터보 펌프를 사용하는 고 진공 장비가 장착되어 있습니다. 요약하자면, AIX 2400 G3 HTL은 고급 재료의 처리량이 많은 증착을 위해 설계된 최첨단 OMCVD 원자로입니다. 원자로에는 오픈 챔버 원자로, 핫 월 쿼츠 원자로, 6 방향 중심 장치, 컴퓨터 제어 재료 소개 시스템, 전원 공급 장치, 안전 시스템 배열, 고진공 장치 등 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이 원자로는 최소 가동 중지 시간과 함께 고정밀 증착 생산을 제공하는 반면, 스테인레스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 구조는 우수한 부식 내성 및 내구성을 보장합니다.